氦檢儀中沒(méi)有手動(dòng)閥,現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵,以消除可能造成的油返流。計(jì)算機(jī)技術(shù)也在氦檢儀中獲得應(yīng)用。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計(jì)算機(jī)自動(dòng)操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個(gè)操作只須按各種按鈕自動(dòng)進(jìn)行。氦檢儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦檢儀在未來(lái)的歲月中還將在許多的工業(yè)領(lǐng)域中得到新的應(yīng)用。氦檢儀質(zhì)量范圍很寬,不只可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng),不只解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題,而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種。紹興無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來(lái)實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開(kāi)抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí),打開(kāi)入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來(lái),此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20Pa時(shí),入口閥2關(guān)閉,入口閥3打開(kāi),分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。浙江無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場(chǎng)等。
氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)?當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油和無(wú)水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過(guò)程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁,使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確,經(jīng)過(guò)清洗維護(hù)后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。
氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于較佳工作條件下,以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值,被檢件出氣少且沒(méi)有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí),才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動(dòng)量,能較方便地估計(jì)檢漏效果。掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見(jiàn)故障的維修技術(shù),有利于檢漏工作的順利開(kāi)展以及設(shè)備的保養(yǎng)。
氦檢儀的組成部分有哪些?真空系統(tǒng):冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間,使三者被冷阱隔離,冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來(lái)的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室,保持質(zhì)譜室的清潔,并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來(lái)測(cè)量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測(cè)量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級(jí)壓力的。標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔,用它來(lái)校準(zhǔn)儀器的較小可檢漏率和對(duì)儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。氦檢儀的實(shí)際應(yīng)用方案很多,常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法(抽真空),正壓法(吸入法)和背壓法(壓氦法)。常州智能氦質(zhì)譜檢漏儀廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。紹興無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)?當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低,而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候,就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,不能用粗砂紙,因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油或無(wú)水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;然后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。如果操作正確,經(jīng)過(guò)清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。紹興無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理