國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)，儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。真空系統(tǒng)一般包括：1）主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應(yīng)與氣載匹配。2）前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3）預(yù)抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種。國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)：冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。標(biāo)準漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準漏孔，用它來校準儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標(biāo)。金華臺式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國許多設(shè)備的運轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測準度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低時，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運氦質(zhì)譜檢漏儀時，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。

在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動機構(gòu)，有的體積很大，達幾十立方米，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達幾公里，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數(shù)十公里，必須投人很大力量對設(shè)備嚴格進行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏問題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀，氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦檢儀的實際應(yīng)用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。

氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標(biāo)準漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。金華臺式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀

氦檢儀本底漏率值是什么？本底值是指由所處環(huán)境所形成的較穩(wěn)定的輻射水平或聲量，由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，5.24×10-6，也就是百萬分之五左右，這說明正?？諝猸h(huán)境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小.正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來。本底高一般都是泄漏的原因，建議檢查閥有沒有內(nèi)漏，試試增加清掃氣體的壓力，但是也不能過高，因為會影響抽空效率。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進儀器，避免本底太大，難以清理。國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀