氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性,而在結(jié)構(gòu)組成上,大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的:質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟,又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分;真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件,保證氦離子的傳輸率;電氣系統(tǒng)的重點功能就是為質(zhì)譜室供電與測量。另外在有些條件下,氦質(zhì)譜檢漏可能還會需要輔助真空系統(tǒng),完成一些預(yù)抽、保證氦檢儀真空度等工作。檢漏過程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人氦質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口。安徽氦質(zhì)譜檢漏儀
氦檢儀測量數(shù)據(jù)處理:漏率示值誤差,①漏率的溫度修正,標準漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃,所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致,需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算,并在測試結(jié)果中加以說明,修正方法如下:方法一:將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下,用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值;方法二:將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下,用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。浙江模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。
影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些?氦檢儀檢漏時,產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括8個方面:第1,氦檢儀在校準靈敏度時,標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標準漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會導(dǎo)致經(jīng)二者進入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二,進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算,這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時,所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。第八,之后也就是檢漏操作人員的因素,包括素質(zhì)、責任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高,用得普遍的氦檢儀器。
氦檢儀漏率的校準方法:一、環(huán)境條件,校準環(huán)境溫度為(23±5)℃,校準過程中室溫變化不超過±1℃,環(huán)境相對濕度不大于80%。校準設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近,因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標準器的選擇,標準器采用滲氦型標準漏孔,漏率標稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計,測量范圍(0~50)℃,不確定度U=0.04℃,k=2。掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù),有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測氣體電離,再利用電磁場將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分,分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達收集極,產(chǎn)生一個正比于離子數(shù)量的電流信號,該信號經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率是多少?安徽自動氦質(zhì)譜檢漏儀廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀的關(guān)鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。安徽氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。安徽氦質(zhì)譜檢漏儀
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