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潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對(duì)無(wú)塵等級(jí)的要求比較高，因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級(jí)的水準(zhǔn)，隨便一?；覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損，甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無(wú)塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無(wú)塵室與負(fù)壓無(wú)塵室。一般正壓無(wú)塵室比較常見(jiàn)，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源?？諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來(lái)區(qū)分的，而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來(lái)表示。廣東生物安全柜檢測(cè)誠(chéng)信推薦

B.2.1.2計(jì)數(shù)效率測(cè)量U描述符所用體系的計(jì)數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū)，其中心對(duì)應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計(jì)數(shù)效率為50%，粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%，見(jiàn)圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計(jì)數(shù)效率允差的規(guī)定，是基于對(duì)擴(kuò)散元件透過(guò)率的計(jì)算，該擴(kuò)散元件對(duì)粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過(guò)率不低于40%，對(duì)粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過(guò)率不高于60%。若離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）或凝聚核計(jì)數(shù)器（CNC）的計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè)，則不能用其測(cè)量或驗(yàn)證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè)，則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來(lái)降低計(jì)數(shù)效率。此時(shí)，經(jīng)改進(jìn)的離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率就成為原計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率與粒徑限制器透過(guò)率的乘積。福建排風(fēng)柜檢測(cè)方便客戶潔凈室檢測(cè)中發(fā)現(xiàn)的改進(jìn)機(jī)會(huì)應(yīng)納入持續(xù)改進(jìn)計(jì)劃中。

潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定，通常分為兩個(gè)檔次：一般測(cè)試和綜合測(cè)試。一個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試，第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn)，各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量，測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。

B.3.3.3.3飛行時(shí)間粒徑測(cè)量大粒子的尺寸可用飛行時(shí)間儀來(lái)測(cè)量?？諝鈽颖境槿藘x器,經(jīng)噴嘴進(jìn)人一個(gè)局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測(cè)量在真空區(qū)進(jìn)行?？諝鈽颖局械乃辛Ｗ泳跍y(cè)量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測(cè)量點(diǎn)的風(fēng)速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測(cè)定粒子的空氣動(dòng)力學(xué)直徑。知道環(huán)境與測(cè)量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計(jì)算出風(fēng)速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時(shí)間測(cè)定粒子速度。飛行時(shí)間儀可測(cè)量大到20μm粒子的空氣動(dòng)力學(xué)直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計(jì)數(shù)器相同。不同等級(jí)的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。

4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時(shí)。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求的條件下,潔凈廠房?jī)?nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等。按所需控制的空氣中懸浮微粒分類，可將潔凈室分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。上海潔凈室環(huán)境檢測(cè)價(jià)格

檢測(cè)為送回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。廣東生物安全柜檢測(cè)誠(chéng)信推薦

潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定，通常分為兩個(gè)檔次：一般測(cè)試和綜合測(cè)試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試，第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn)，各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量，測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。廣東生物安全柜檢測(cè)誠(chéng)信推薦