潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室。河北潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
在單向流潔凈室中,潔凈氣流不是一股或幾股,而是充滿整個房間截面,所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對室內(nèi)臟空氣的混合稀釋作用,而是依靠在干凈的氣流上推出效果。室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排到室外,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。因此,前聯(lián)邦德國有人將單向流潔凈室的氣流稱為“塞流”、“塞流”,前蘇聯(lián)則稱其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個空氣活塞,沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動,使塵粒只能向前(向下)移動而不能返回,在單流潔凈室和單流凈化設(shè)備中,逆向氣流可以沿著墻壁和兩個過濾器的重疊部分下方出現(xiàn)。這種氣流會將污染從底部傳送到頂部,然后向下傳送,破壞上述“塞流”狀態(tài),危害極大。對于有開口與外界相連的局部凈化設(shè)備,如潔凈工作臺,這種氣流會導(dǎo)致外部污染氣流。在設(shè)計中,必須減少濾框占用的無效面積,減少空間的壁面。盡可能靠近過濾器的有效風(fēng)截面。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)凈室被習(xí)慣 地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)。
潔凈室竣工驗收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機、凈化空調(diào)機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6、送回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。
A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點,并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”。D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點,而且要避開回風(fēng)口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點的數(shù)目都不得少于2個,總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。**少采樣點數(shù)目對應(yīng)懸浮粒子采樣點數(shù),工作區(qū)測點位置離地0.8-1.2m左右,送風(fēng)口測點位置離開送風(fēng)面30cm左右,關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動范圍處可增加測點,每個采樣點一般采樣一次。技術(shù)實力:全國多家自建實驗室分支,檢測更便捷。
B.1.2.2空氣懸浮粒子計數(shù)規(guī)程將離散粒子計數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置,設(shè)定計數(shù)器的流量,選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣[1],進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(例如非單向流)的采樣點,采樣口應(yīng)豎直向上。采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時,連接管的長度和直徑不應(yīng)超過制造商的建議值。采樣過程中,因擴散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%。潔凈室檢測人員需經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn),熟悉檢測流程和標(biāo)準(zhǔn)。遼寧電子廠房環(huán)境檢測規(guī)范性強
亂流(非單流)潔凈室的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風(fēng)口頂部送風(fēng)。河北潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于10分鐘后開始;對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點,打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束,將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時間不少于48小時。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對照試驗檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對照培養(yǎng)。c.菌落計數(shù)用肉眼直接計數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數(shù)。河北潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)