B.4.3.2送風口處測量的送風量為了排除送風口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,建議采用風罩測量末端過濾器或送風散流器的總送風量??墒褂门溆辛髁坑嫷娘L量罩直接測量,也可用風罩出風的風速乘以有效面積求出送風量。風罩的上開口應完全罩住過濾器或散流器;為了避免旁通漏風造成的讀數(shù)不準,風罩的上沿應密封靠緊平坦的表面。若采用帶流量計的風量罩,則可在風罩的出風端口直接測量各個末端過濾器或送風散流器的風量。。。。。。。通過定期檢測,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。實驗室環(huán)境檢測認真負責
空氣潔凈度:這是潔凈車間環(huán)境檢測的**指標,通常通過檢測空氣中的塵埃粒子數(shù)來評估。不同潔凈等級的車間對塵埃粒子的限制不同,如潔凈度等級為100級的車間對大于等于5μm的塵粒有嚴格的計數(shù)要求。微生物指標:包括浮游菌、沉降菌等微生物的數(shù)量。這些微生物可能對產品質量和工作人員健康造成影響,因此需要進行嚴格的控制和監(jiān)測。溫度與濕度:潔凈車間需要保持穩(wěn)定的溫度和濕度環(huán)境,以確保生產過程的順利進行和產品質量的穩(wěn)定。通常,生產工藝對溫度和濕度無特殊要求時,潔凈室溫度應為18~26℃,相對濕度應為45~65%。江蘇電子廠房環(huán)境檢測技術好當產品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產品能夠在良好的環(huán)境空間中生產制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響
D.3.2靜壓差測試,應符合下列規(guī)定:1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,應從**里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,應符合下列規(guī)定:1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數(shù)器。2應在過濾器上風側引入大于等于0.1um(0.5um)粒子,粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風側應用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應以5~20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。潔凈室環(huán)境檢測依據(jù)行業(yè)標準及國家標準。
在單向流潔凈室中,潔凈氣流不是一股或幾股,而是充滿整個房間截面,所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對室內臟空氣的混合稀釋作用,而是依靠在干凈的氣流上推出效果。室內臟空氣沿整個斷面排到室外,達到凈化室內空氣的目的。因此,前聯(lián)邦德國有人將單向流潔凈室的氣流稱為“塞流”、“塞流”,前蘇聯(lián)則稱其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個空氣活塞,沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動,使塵粒只能向前(向下)移動而不能返回,在單流潔凈室和單流凈化設備中,逆向氣流可以沿著墻壁和兩個過濾器的重疊部分下方出現(xiàn)。這種氣流會將污染從底部傳送到頂部,然后向下傳送,破壞上述“塞流”狀態(tài),危害極大。對于有開口與外界相連的局部凈化設備,如潔凈工作臺,這種氣流會導致外部污染氣流。在設計中,必須減少濾框占用的無效面積,減少空間的壁面。盡可能靠近過濾器的有效風截面。各類調節(jié)裝置應嚴密、調節(jié)靈活、操作方便。湖北排風柜檢測方便客戶
潔凈室檢測數(shù)據(jù)應與其他質量控制數(shù)據(jù)相結合,綜合分析。實驗室環(huán)境檢測認真負責
B.2.1.3粒徑限制器為獲得測量或驗證U描述符所需的計數(shù)效率特性,可在計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側的離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器的采樣管上,安裝一個粒徑限制器。改動后,計數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子,以準確且可再現(xiàn)的方式降低透過率。粒徑限制器多種多樣,其大小和配置各異,只要它們具有所要求的透過率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴散元件和虛擬撞擊器。透過率隨粒子的物理特性、限制器構造和體積流量而變化。因此,使用粒徑限制器時要小心,它們只能用于規(guī)定的流量,安裝時要防靜電累積。為了減少電荷累積,粒徑限制器應有良好的接地。實驗室環(huán)境檢測認真負責