潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關,所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出人口和可能干擾氣流的場所設置,并宜布置在上風側(cè);空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室(區(qū))內(nèi)布置的基本要求。另外,由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,電子工廠在實際生產(chǎn)中,在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設備擴大生產(chǎn)能力的情況很多,因此在做工藝布局時,應根據(jù)具體情況,考慮這些因素,留出相應的運作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應技術(shù)措施,如人的聯(lián)系應采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運送也可以采用氣閘室,一般物件的運送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線應采用可靠氣密措施等。對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。安徽醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測流程
空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量;3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調(diào)箱的正壓段;4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;超高效空氣過濾器應設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近;6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近;7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應根據(jù)環(huán)境條件設置化學過濾器或其他去除裝置;8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求:1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用;2應按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4送風量應能調(diào)節(jié);5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強度應滿足檢修要求。半導體凈化車間潔凈室檢測方法管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。
15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行,應包括設計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時,應符合下列規(guī)定:1總平面布置時,應核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設備、儀器的振動影響;2設有精密設備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計;3對設有精密設備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動影響的動力設備及其管道,應采取主動隔振措施;4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設備、儀器,經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時,應采取被動隔振措施。
9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高,但燈具安裝的數(shù)量受到送風風口數(shù)量和位置等條件的限制,這就要求在達到同一照度值情況下,安裝燈具的個數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍,而且發(fā)熱量小,有利于空調(diào)節(jié)能。此外,潔凈室天然采光少,在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光,熒光燈基本能滿足這一要求。因此,目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當有些潔凈室層高較高,采用一般熒光燈照明很難達到設計照度值,在此情況下,可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求,或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設備有干擾時,也可采用其他形式光源。當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高,甚至到了理論純水的程度,尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴格,而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求;醫(yī)藥工業(yè)中要求供應的注射用水,對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外,純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設計是保證使用點水質(zhì)的關鍵。實踐證明,采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),以減少純水在管道內(nèi)的停留時間,減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響,同時,基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。嚴寒及寒冷地區(qū)的新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。江蘇溫濕度潔凈室檢測頻率
潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進行控制的密閉性較好的空間。安徽醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測流程
C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目,對安裝的過濾器進行檢漏。C.1.3.2調(diào)試過程中承建商的檢測已獲得業(yè)主認可,在緊接著的潔凈度項目檢測過程中,可進行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時,宜將過濾系統(tǒng)安裝調(diào)試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并;過濾系統(tǒng)檢漏費時、費人力,整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數(shù)器(DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質(zhì)量濃度,而離散粒子計數(shù)器是測量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑,2種方法獲得的結(jié)果不能進行直接比較。安徽醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測流程