半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測公司

來源: 發(fā)布時間:2025-03-18

13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時,應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器.防靜電安全工作臺。13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時,應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器.防靜電安全工作臺。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力。半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測公司

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11.4.1生物安全柜內(nèi)如有氣管和水管,應(yīng)同時安裝完畢。11.4.2當(dāng)多臺生物安全柜的排風(fēng)支管與豎井內(nèi)封閉的排風(fēng)立管相連接時,支管應(yīng)采用防回流裝置,并應(yīng)從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后,連接排風(fēng)管道之前,應(yīng)對高效過濾器安裝邊框及整個濾芯面掃描檢漏。當(dāng)為零泄漏排風(fēng)裝置時,應(yīng)對濾芯面檢漏。11.4.4在采用壓力相關(guān)的手動調(diào)節(jié)閥定風(fēng)量系統(tǒng)中,當(dāng)多臺安全柜排風(fēng)并聯(lián)時,整個系統(tǒng)在安全柜安裝后應(yīng)重新平衡,采用壓力無關(guān)的風(fēng)量平衡閥時可不做此項平衡。11.4.5生物安全柜安裝并檢漏之后,應(yīng)進(jìn)行下列現(xiàn)場檢驗.噪音無塵室檢測價格無塵室為半導(dǎo)體行業(yè)提供了可靠的工作環(huán)境,推動了計算機、通信、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域的飛速發(fā)展。

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空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入超凈間,并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,超凈間之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高超凈間等級。缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再***,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。

應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗報告,其中應(yīng)有效率、阻力和掃描檢漏的實測數(shù)據(jù),不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應(yīng)進(jìn)行外觀檢查,內(nèi)容應(yīng)包括有無損壞;各種尺寸是否符合設(shè)計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風(fēng)機的風(fēng)機安裝是否可靠,轉(zhuǎn)動是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的,裝飾網(wǎng)或阻漏層是否完好、繃緊。應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗報告,其中應(yīng)有效率、阻力和掃描檢漏的實測數(shù)據(jù),不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應(yīng)進(jìn)行外觀檢查,內(nèi)容應(yīng)包括有無損壞;各種尺寸是否符合設(shè)計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風(fēng)機的風(fēng)機安裝是否可靠,轉(zhuǎn)動是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的,裝飾網(wǎng)或阻漏層是否完好、繃緊。在運作時,無塵室需要嚴(yán)格控制人員進(jìn)出,常規(guī)維護(hù)和定期檢查是確保無塵室持續(xù)潔凈的關(guān)鍵。

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6.3.1管道安裝前應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)備工作:1配管下料時應(yīng)采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具,不應(yīng)采用氧-乙炔焰切割,不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應(yīng)與管軸線垂直,切口表面應(yīng)平整、無裂紋,應(yīng)去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時,宜用成品連接件。4普通不銹鋼管應(yīng)在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。5氧氣管道及附件,安裝前應(yīng)按相關(guān)規(guī)定方法進(jìn)行脫脂,脫脂應(yīng)在遠(yuǎn)離潔凈室的地點進(jìn)行,并做好操作人員的安全與環(huán)境保護(hù)工作。無塵室創(chuàng)造了一個幾乎不含微塵和有害物質(zhì)的特殊空間,為高精密制造、敏感實驗和科研工作提供了理想的環(huán)境。江蘇無塵室檢測范圍

無塵室通常用于制藥、電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測公司

12.1.1潔凈廠房的用電負(fù)荷等級和供電要求,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50052的有關(guān)規(guī)定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。12.1.3電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備,應(yīng)由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動力設(shè)備,宜設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設(shè)置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)(含制冷機),應(yīng)由變電所專線供電。半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測公司