1近年來(lái),在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠(chǎng)房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠(chǎng)房的建造、設(shè)計(jì)中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),實(shí)際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線(xiàn)等,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過(guò)活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,實(shí)際上,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為:電子工廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。江蘇塵埃粒子潔凈室檢測(cè)評(píng)估
6.3.1潔凈廠(chǎng)房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50,材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)滿(mǎn)足使用功能的要求,且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔,并應(yīng)減少凹凸面,2當(dāng)采用踢腳時(shí),踢腳不宜突出墻面。潔凈室檢測(cè)目的潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。
5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速,以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***,集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時(shí)間就會(huì)提升一代產(chǎn)品;以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn);微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展,使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此,電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要,從潔凈廠(chǎng)房的規(guī)劃開(kāi)始,對(duì)于電子工廠(chǎng)、潔凈廠(chǎng)房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,以滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。
6.3.4潔凈廠(chǎng)房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿(mǎn)足使用功能要求,且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當(dāng)潔凈廠(chǎng)房設(shè)置外窗時(shí),應(yīng)采用雙層固定窗,并應(yīng)有良好的氣密性,同時(shí)應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室(區(qū))門(mén)窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)滿(mǎn)足使用功能的要求,構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施;2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道,3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺(tái);4當(dāng)?shù)孛娌捎没顒?dòng)地板時(shí),活動(dòng)地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū))的墻板和頂棚,宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。潔凈室絕不僅于“潔凈”,而必須是一個(gè)對(duì)冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當(dāng)要求的多功能的綜合體。
D.3.10自?xún)魰r(shí)間檢測(cè),應(yīng)符合下列規(guī)定:1自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè),宜用于非單向流潔凈室。2自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè),宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè),同時(shí)應(yīng)符合下列要求.1)以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí),則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間,在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí),測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開(kāi)機(jī),定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來(lái)的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時(shí)間(t)。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí),應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開(kāi)機(jī),方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n),可得到計(jì)算自?xún)魰r(shí)間(to),與實(shí)測(cè)自?xún)魰r(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比,如果t≤12to,為合格。4自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。工業(yè)潔凈室--以無(wú)生命的微粒作為控制對(duì)象。北京消毒液凈化車(chē)間環(huán)境潔凈室檢測(cè)哪家好
空氣過(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。江蘇塵埃粒子潔凈室檢測(cè)評(píng)估
近年來(lái),國(guó)內(nèi)外一些潔凈廠(chǎng)房中一級(jí)用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時(shí)變動(dòng)而引起停電事故頻繁發(fā)生,造成了較大的經(jīng)濟(jì)損失,其原因不是主電源斷電,而是控制電源失電造成保護(hù)系統(tǒng)失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)中也很重要。從工藝性質(zhì)來(lái)看,潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)一般從事精密視覺(jué)工作,需要高照度高質(zhì)量照明。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件,除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問(wèn)題外,極重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。........江蘇塵埃粒子潔凈室檢測(cè)評(píng)估