15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行,應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時,應符合下列規(guī)定:1總平面布置時,應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響;2設有精密設備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計;3對設有精密設備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動影響的動力設備及其管道,應采取主動隔振措施;4潔凈室(區(qū))內精密設備、儀器,經測試確認受到周圍振動影響時,應采取被動隔振措施。單向流潔凈室靠送風氣流“活塞”般的擠壓作用,迅速把室內污染排出。安徽氣流潔凈室檢測認真負責
1管道連接應采用焊接,熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊,以對接焊或承接焊連接;高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規(guī)定:1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據輸送物料性質、設計工況選擇,宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產工藝和氣體特性的要求確定,宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內的工業(yè)管道應根據管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應采用不產生塵粒、微生物的材料,并應平整、光潔,宜采用金屬外殼保護。浙江潔凈工作臺潔凈室檢測規(guī)范性強潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量。
6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求,且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時,應采用雙層固定窗,并應有良好的氣密性,同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室(區(qū))門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求:1應滿足使用功能的要求,構造和施工縫隙應采取密閉措施;2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道,3潔凈室(區(qū))不宜設窗臺;4當地面采用活動地板時,活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。6.3.7用于電子產品生產的潔凈室(區(qū))的墻板和頂棚,宜采用輕質壁板構造。
5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時,宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室(區(qū))內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時,應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室(區(qū))內,電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送,宜采用容器。用于存放和傳送的**容器,應符合下列規(guī)定:1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電,并在空氣中不應被氧化;2應密封性能好;3當存放物有嚴格的潔凈度要求時,宜充填高純度或干燥氮氣;4構造、外形應滿足生產工藝要求,并應方便操作和運送。凈化空調系統(tǒng)的風機宜采取變頻措施。
B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,因為自凈性能與受控區(qū)內循環(huán)空氣比例(換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關,而單向流系統(tǒng)中,污染被受控氣流置換,自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態(tài)或靜態(tài)時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室(區(qū))不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠,應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100:1自凈時間或潔凈度恢復率。100:1自凈時間的定義:粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100:1自凈時間檢測是優(yōu)先方法。潔凈恢復率的定義:粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度,為對數刻度;橫座標表示濃度,為線性刻度)。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。安徽壓縮空氣檢測潔凈室檢測
工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。安徽氣流潔凈室檢測認真負責
8.2.1潔凈廠房內的給水系統(tǒng)應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定,宜按生產、生活、消防分別設置的給水系統(tǒng)。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時,應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求,設置緊急淋浴器和洗眼器,其給水管道應環(huán)形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇,應符合下列要求:1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用,應滿足生產工藝和系統(tǒng)工作參數的要求;2埋地管道應耐腐蝕,并應具有承受相應地面荷載的能力;3生產設備循環(huán)冷卻水給水和回水管道,應按生產工藝和水質要求,采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等,不宜采用焊接鋼管;4閥門及附件應采用與管材相同的材質。安徽氣流潔凈室檢測認真負責