7.2.1潔凈廠房?jī)?nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無(wú)菌無(wú)塵,對(duì)給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格,如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價(jià)高、管理要求嚴(yán)格,因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等),以便重點(diǎn)保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng),也利于管理和節(jié)省運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè),如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門(mén)產(chǎn)品升級(jí)換代快,生產(chǎn)工藝變化多。因此,在管道設(shè)計(jì)中應(yīng)留有充分的余量。充分利用回風(fēng)量;選擇低阻力高效率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。壓縮空氣檢測(cè)潔凈室檢測(cè)誠(chéng)信推薦
潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類(lèi)生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級(jí)的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場(chǎng)所設(shè)置,并宜布置在上風(fēng)側(cè);空氣潔凈度等級(jí)要求相同的工序或工作室相對(duì)集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室(區(qū))內(nèi)布置的基本要求。另外,由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,電子工廠在實(shí)際生產(chǎn)中,在線(xiàn)維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多,因此在做工藝布局時(shí),應(yīng)根據(jù)具體情況,考慮這些因素,留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室,一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線(xiàn)應(yīng)采用可靠氣密措施等。北京潔凈氣體3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)頻率一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。
4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開(kāi)放式和微環(huán)境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定,各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí),宜采用微環(huán)境等型式。
7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí),宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較,采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置,應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時(shí)運(yùn)行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng),應(yīng)集中處理。潔凈室(區(qū))與周?chē)目臻g必須維持一定的壓差,并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。
1近年來(lái),在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),實(shí)際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線(xiàn)等,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過(guò)活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,實(shí)際上,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。無(wú)菌室的潔凈度直接決定了實(shí)驗(yàn)室的微生物結(jié)果的可信度。江蘇國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)范圍
在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級(jí)別的潔凈房間布置在一起。壓縮空氣檢測(cè)潔凈室檢測(cè)誠(chéng)信推薦
D.3.5氣流流型的檢測(cè),應(yīng)符合下列規(guī)定:1氣流流型的檢測(cè),宜采用氣流目測(cè)法。2氣流目測(cè)法有示蹤線(xiàn)法、示蹤劑注人法,并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線(xiàn)法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。3示蹤線(xiàn)法應(yīng)為通過(guò)觀察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線(xiàn)或單根尼龍纖維等,直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。4示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在**度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。5應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)***流目測(cè),本法一般是與示蹤法結(jié)合,將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、儀器等,應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。壓縮空氣檢測(cè)潔凈室檢測(cè)誠(chéng)信推薦