江蘇潔凈度潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-03-07

隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高,甚至到了理論純水的程度,尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格,而且對細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求;醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水,對水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過程外,純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明,采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間,減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響,同時(shí),基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間。江蘇潔凈度潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)

江蘇潔凈度潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn),潔凈室檢測

7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置:1運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同;2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染,對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響;3對溫、濕度控制要求差別大;4潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊;5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。無塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測值得推薦無菌室,亦稱為凈化室或潔凈室,是一種專門設(shè)計(jì)用于控制環(huán)境污染的封閉空間。

江蘇潔凈度潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn),潔凈室檢測

9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施,其中有和火災(zāi)危險(xiǎn)場所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則,其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè),并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω;選擇分散接地方式時(shí),各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體,兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057的有關(guān)規(guī)定。

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)置,并宜布置在上風(fēng)側(cè);空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室(區(qū))內(nèi)布置的基本要求。另外,由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,電子工廠在實(shí)際生產(chǎn)中,在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多,因此在做工藝布局時(shí),應(yīng)根據(jù)具體情況,考慮這些因素,留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室,一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當(dāng)然的。

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10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)入必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機(jī),5含水量要求嚴(yán)格時(shí),宜選用加熱再生吸附干燥裝置。送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。北京排風(fēng)柜潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)

管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。江蘇潔凈度潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確,使用過程中無滲漏發(fā)生,不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時(shí)的效率檢測混為一談,過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項(xiàng)檢測用于驗(yàn)證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏;確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠,在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個(gè)過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行,且該項(xiàng)檢測是在新建潔凈室調(diào)試時(shí),或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時(shí),或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。江蘇潔凈度潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)