9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過(guò)濾器隨運(yùn)行時(shí)間的增加,阻力逐漸增大,為保持送風(fēng)風(fēng)量,經(jīng)常手動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥,以增加風(fēng)量,調(diào)整很麻煩;在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中,系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)為使風(fēng)機(jī)空載啟動(dòng),首先將風(fēng)機(jī)出口處風(fēng)閥關(guān)閉,風(fēng)機(jī)啟動(dòng)后,由于風(fēng)閥上承受壓力很大,打開(kāi)十分困難。當(dāng)采用空氣過(guò)濾器前后壓力差的變化控制送風(fēng)機(jī)的變頻調(diào)速裝置后,送風(fēng)量的調(diào)節(jié)變得十分容易,送風(fēng)壓力穩(wěn)定。同時(shí)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分***。9.4.3為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風(fēng)機(jī)停轉(zhuǎn)無(wú)風(fēng)或超溫時(shí),電加熱器繼續(xù)送電加熱會(huì)造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火災(zāi),本條強(qiáng)制性規(guī)定應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姷缺Wo(hù)裝置。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。安徽無(wú)塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上
隨著生產(chǎn)工藝對(duì)純水水質(zhì)的不斷提高,甚至到了理論純水的程度,尤其是集成電路的發(fā)展不但對(duì)水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格,而且對(duì)細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求;醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水,對(duì)水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過(guò)程外,純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明,采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間,減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會(huì)有微量物質(zhì)溶出)對(duì)超純水水質(zhì)的影響,同時(shí),基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。過(guò)濾器潔凈室檢測(cè)評(píng)估潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、高新技術(shù)密切聯(lián)系在一起。
7.4.5干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定;2迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組所提供的機(jī)外余壓確定;3冷凍水進(jìn)水溫度,宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣的**溫度;4應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機(jī)組的選用和布置,應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)有良好的氣密性,漏風(fēng)率不得大于1%;2整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強(qiáng)度和剛度,內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑,外表面不應(yīng)結(jié)露;3布置應(yīng)整齊,并應(yīng)便于運(yùn)行和維修;當(dāng)多套空氣處理機(jī)組為同一潔凈室(區(qū))服務(wù)時(shí),宜選用相同規(guī)格的空氣處理機(jī)組;送風(fēng)機(jī)宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。計(jì)算系統(tǒng)總阻力時(shí),中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;5應(yīng)設(shè)置排水裝置。
4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同,潔凈廠房?jī)?nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道,如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道,以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等,管線交叉復(fù)雜。因此,在進(jìn)行管線綜合布置時(shí),必須在平面和標(biāo)高上密切配合,綜合考慮,才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對(duì)國(guó)內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中,了解到為布置各種管道和高效過(guò)濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道,大多使用效果良好,但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計(jì)得過(guò)高是不經(jīng)濟(jì)的。改建工程由于空間較小,管線布置比較緊湊,但如果布置合理,效果也是不錯(cuò)的。因此,在進(jìn)行管線綜合布置設(shè)計(jì)和確定技術(shù)夾層層高時(shí),應(yīng)進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較,做到技術(shù)上可靠,經(jīng)濟(jì)上合理。送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。
4.1.2潔凈廠房?jī)?nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表,若它們有防微振要求時(shí),為解決防微振問(wèn)題,在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場(chǎng)地選擇過(guò)程中,需要對(duì)周圍振源的振動(dòng)影響作出評(píng)價(jià),以確定該廠址或場(chǎng)地是否適宜建設(shè)。周圍振源對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動(dòng)影響,是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結(jié)果。這種疊加,目前還沒(méi)有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法。因此,應(yīng)立足于實(shí)測(cè)。過(guò)去有的工廠,由于建廠前沒(méi)有對(duì)周圍各類振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測(cè),建成后發(fā)現(xiàn)對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大,有的甚至難以工作,給生產(chǎn)、試驗(yàn)帶來(lái)很大困難,這說(shuō)明實(shí)測(cè)振源振動(dòng)影響是非常必要的??扇?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或極高點(diǎn)均應(yīng)設(shè)置放散管。醫(yī)療器具潔凈室檢測(cè)報(bào)告
潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。安徽無(wú)塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上
1近年來(lái),在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),實(shí)際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過(guò)活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,實(shí)際上,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。安徽無(wú)塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上