上海半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測報(bào)告

11.4.1生物安全柜內(nèi)如有氣管和水管，應(yīng)同時(shí)安裝完畢。11.4.2當(dāng)多臺(tái)生物安全柜的排風(fēng)支管與豎井內(nèi)封閉的排風(fēng)立管相連接時(shí)，支管應(yīng)采用防回流裝置，并應(yīng)從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后，連接排風(fēng)管道之前，應(yīng)對(duì)高效過濾器安裝邊框及整個(gè)濾芯面掃描檢漏。當(dāng)為零泄漏排風(fēng)裝置時(shí)，應(yīng)對(duì)濾芯面檢漏。11.4.4在采用壓力相關(guān)的手動(dòng)調(diào)節(jié)閥定風(fēng)量系統(tǒng)中，當(dāng)多臺(tái)安全柜排風(fēng)并聯(lián)時(shí)，整個(gè)系統(tǒng)在安全柜安裝后應(yīng)重新平衡，采用壓力無關(guān)的風(fēng)量平衡閥時(shí)可不做此項(xiàng)平衡。11.4.5生物安全柜安裝并檢漏之后，應(yīng)進(jìn)行下列現(xiàn)場檢驗(yàn).無塵室在需要對(duì)空氣中的微粒、微生物和污染物進(jìn)行控制的行業(yè)中都會(huì)有廣泛的應(yīng)用。上海半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測報(bào)告

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應(yīng)符合下列要求：1室內(nèi)空氣溫度和相對(duì)濕度測定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計(jì)、數(shù)字式溫濕度計(jì)；濕度的檢測可采用通風(fēng)式干濕球溫度計(jì)、數(shù)字式溫濕度計(jì)、電容式濕度檢測儀或露點(diǎn)傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動(dòng)范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點(diǎn)為房間中間一點(diǎn)，應(yīng)在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測完室內(nèi)溫濕度后，還應(yīng)同時(shí)測出室外溫濕度。浙江靜電無塵室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。

6.3.1管道安裝前應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)備工作：1配管下料時(shí)應(yīng)采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具，不應(yīng)采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應(yīng)與管軸線垂直，切口表面應(yīng)平整、無裂紋，應(yīng)去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時(shí)，宜用成品連接件。4普通不銹鋼管應(yīng)在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。5氧氣管道及附件，安裝前應(yīng)按相關(guān)規(guī)定方法進(jìn)行脫脂，脫脂應(yīng)在遠(yuǎn)離潔凈室的地點(diǎn)進(jìn)行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護(hù)工作。

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面，2當(dāng)采用踢腳時(shí)，踢腳不宜突出墻面。隨著科技的迅猛發(fā)展，無塵室已成為現(xiàn)代工業(yè)、醫(yī)療、電子、航空航天等領(lǐng)域中不可或缺的關(guān)鍵環(huán)境控制手段。

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運(yùn)輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動(dòng)路線和物料傳輸布置時(shí),應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應(yīng)避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設(shè)置人員人口、物料入口和設(shè)備出入口,并應(yīng)在各自的人口處設(shè)置相應(yīng)的凈化設(shè)施。5.2.3在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴(yán)格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機(jī)房布置;空氣潔凈度等級(jí)相同的工序或工作室宜集中布置。由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測粒子等效的球體直徑。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測第三方檢測機(jī)構(gòu)

無塵室是一種完全封閉、密封的房間，它的主要目的是控制空氣中的塵埃顆粒數(shù)量。上海半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測報(bào)告

2.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。上海半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測報(bào)告