3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì),同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求,對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。3.1.3潔凈室(區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置,其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。定期檢測潔凈度,確??諝赓|(zhì)量的穩(wěn)定。江蘇手術(shù)室潔凈室檢測
D.3.5氣流流型的檢測,應(yīng)符合下列規(guī)定:1氣流流型的檢測,宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注人法,并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。3示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在**度光源下進行觀察或做成圖像。5應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進***流目測,本法一般是與示蹤法結(jié)合,將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置、儀器等,應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。江蘇靜電潔凈室檢測評估應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。
9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅,不能進行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂,加工處理的貴重零部件損壞;或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災(zāi)、和中毒等事故,本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明,以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應(yīng)低于正常照明照度標(biāo)準(zhǔn)的1/10。消防控制室、應(yīng)急發(fā)電機室、配電室及電話機房等房間的主要工作面上,備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復(fù)設(shè)置,節(jié)省投資,并對提高潔凈室的潔凈度有利,備用照明宜作為正常照明的一部分。
4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時,宜采用微環(huán)境等型式。無菌室的潔凈度直接決定了實驗室的微生物結(jié)果的可信度。
潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)置,并宜布置在上風(fēng)側(cè);空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室(區(qū))內(nèi)布置的基本要求。另外,由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,電子工廠在實際生產(chǎn)中,在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴大生產(chǎn)能力的情況很多,因此在做工藝布局時,應(yīng)根據(jù)具體情況,考慮這些因素,留出相應(yīng)的運作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運送也可以采用氣閘室,一般物件的運送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等。當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。上海半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測目的
以前常稱為亂流型潔凈室,室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。江蘇手術(shù)室潔凈室檢測
近年來,國內(nèi)設(shè)計、建造的潔凈廠房,一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室(區(qū))的潔凈度等級確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級,還有一些潔凈廠房雖然沒有對潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級要求,但室內(nèi)采用高效空氣過濾送風(fēng)系統(tǒng),或?qū)崈羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引人更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此,本次修訂時對潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈區(qū)1級~2級和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于8級”的規(guī)定取消,修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對空氣凈化要求的相關(guān)內(nèi)容的規(guī)定合并在一條內(nèi):“宜根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級確定”。不再規(guī)定具體的“等級”或“等級范圍”。江蘇手術(shù)室潔凈室檢測