超精密平面光柵編碼器位移測量技術(shù)是32～7nm節(jié)點(diǎn)浸沒式光刻機(jī)的中心技術(shù)。通過分析浸沒式光刻機(jī)平面光柵位置系統(tǒng)的需求和布局,提出了光刻機(jī)專門超精密平面光柵編碼器的基本需求。針對現(xiàn)有的光柵編碼器,開展了基本測量光路方案、相位探測方案、分辨率增強(qiáng)光路方案、離軸/轉(zhuǎn)角允差光路方案、死程誤差抑制光路方案的綜述分析,提出了現(xiàn)有設(shè)計方案面向光刻機(jī)應(yīng)用所需要解決的關(guān)鍵問題。面向亞納米級測量精度的需求,針對光柵編碼器的儀器誤差,對周期非線性誤差、死程誤差、熱漂移誤差和波前畸變誤差進(jìn)行了綜述分析,提出了平面光柵編碼器實(shí)現(xiàn)亞納米精度所需要解決的關(guān)鍵問題編碼器加工的外保護(hù)層的松緊程度一定的一致。青島微型編碼器直銷廠家
編碼器使用不同類型的技術(shù)來創(chuàng)建信號，包括：機(jī)械，磁性，電阻和光學(xué) - 光學(xué)是較常見的。在光學(xué)傳感中，編碼器基于光的中斷提供反饋。如下圖描繪了使用光學(xué)技術(shù)的增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的基本結(jié)構(gòu)。 從LED發(fā)出的光束穿過代碼盤，代碼盤上有不透明的線條（很像自行車輪上的輻條）。當(dāng)編碼器軸旋轉(zhuǎn)時，來自LED的光束被光盤上的不透明線條中斷，然后被光電探測器組件拾取。這產(chǎn)生一個脈沖信號：light = on; 沒有光=關(guān)。信號被發(fā)送到計數(shù)器或控制器，然后發(fā)送信號以產(chǎn)生所需的功能。青島微型編碼器直銷廠家編碼器的軸承壽命與使用條件有關(guān)，受軸承荷重的影響特別大。
編碼器的作用：它是一種將旋轉(zhuǎn)位移轉(zhuǎn)換成一串?dāng)?shù)字脈沖信號的旋轉(zhuǎn)式傳感器，這些脈沖能用來控制角位移，如果編碼器與齒輪條或螺旋絲杠結(jié)合在一起，也可用于測量直線位移。編碼器產(chǎn)生電信號后由數(shù)控制置CNC、可編程邏輯控制器PLC、控制系統(tǒng)等來處理。這些傳感器主要應(yīng)用在下列方面：機(jī)床、材料加工、電動機(jī)反饋系統(tǒng)以及測量和控制設(shè)備。在ELTRA編碼器中角位移的轉(zhuǎn)換采用了光電掃描原理。讀數(shù)系統(tǒng)是基于徑向分度盤的旋轉(zhuǎn)，該分度由交替的透光窗口和不透光窗口構(gòu)成的。
視頻編碼器VJEncoder2是一款可將高標(biāo)清視音頻信號壓縮轉(zhuǎn)換成H.264/AAC網(wǎng)絡(luò)流的網(wǎng)絡(luò)編碼設(shè)備，編碼后的網(wǎng)絡(luò)流支持標(biāo)準(zhǔn)的RTMP傳輸協(xié)議，可支持推流到VJMS3、FMS、Wowza等Flash服務(wù)器。高密度編碼、高質(zhì)量流暢圖像、低延時、多標(biāo)準(zhǔn)格式支持，這些都是一款視頻編碼器的必備屬性。納加全新編碼器系列將以出色的功能和性能表現(xiàn)證明自己的實(shí)力：多路數(shù)編碼納加編碼器系列產(chǎn)品提供了從單路到多達(dá)18路的多種編碼路數(shù)，供不同需求場景按需而擇，其中包括單路、4路、6路、12路、18路多種規(guī)格。高編碼密度，編碼器單機(jī)可支持單路或多路（支持18路）高清/標(biāo)清同時編碼。式編碼器的示值只與測量的起始和終止位置有關(guān)，而與測量的中間過程無關(guān)。
編碼器的工作原理：由一個中心有軸的光電碼盤，其上有環(huán)形通、暗的刻線，有光電發(fā)射和接收器件讀取，獲得四組正弦波信號組合成A、B、C、D,每個正弦波相差90度相位差（相對于一個周波為360度），將C、D信號反向，疊加在A、B兩相上，可增強(qiáng)穩(wěn)定信號；另每轉(zhuǎn)輸出一個Z相脈沖以零位參考位。由于A、B兩相相差90度，可通過比較A相在前還是B相在前，以判別編碼器的正轉(zhuǎn)與反轉(zhuǎn)，通過零位脈沖，可獲得編碼器的零位參考位。編碼器碼盤的材料有玻璃、金屬、塑料，玻璃碼盤是在玻璃上沉積很薄的刻線，其熱穩(wěn)定性好，精度高，金屬碼盤直接以通和不通刻線，不易碎，但由于金屬有一定的厚度，精度就有限制，其熱穩(wěn)定性就要比玻璃的差一個數(shù)量級，塑料碼盤是經(jīng)濟(jì)型的，其成本低，但精度、熱穩(wěn)定性、壽命均要差一些。分辨率—編碼器以每旋轉(zhuǎn)360度提供多少的通或暗刻線稱為分辨率，也稱解析分度、或直接稱多少線，一般在每轉(zhuǎn)分度5~10000線。當(dāng)編碼器不動或停電時，依靠計數(shù)設(shè)備的內(nèi)部記憶來記住位置。嘉興370編碼器廠家
增量式編碼器是將位移轉(zhuǎn)換成周期性的電信號，再把這個電信號轉(zhuǎn)變成計數(shù)脈沖，用脈沖的個數(shù)表示位移的大小。青島微型編碼器直銷廠家
視頻編碼器的常見問題：當(dāng)遠(yuǎn)程通過IE界面預(yù)覽編碼器視頻圖像時出現(xiàn)?由于網(wǎng)絡(luò)原因或TVS忙，注冊失敗。不能連接視頻時可能的問題如下：本機(jī)PC端可能有防火墻，關(guān)閉了視頻預(yù)覽端口造成，關(guān)閉防火墻再嘗試連接。通訊網(wǎng)絡(luò)有問題。解決辦法：可以測試PING遠(yuǎn)端設(shè)備的IP地址或域名地址，通過PING的通斷信息判斷網(wǎng)絡(luò)狀況。如果網(wǎng)絡(luò)狀況不好可能是網(wǎng)絡(luò)線路問題或路由器出現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)堵塞等問題?？梢試L試重啟 遠(yuǎn)端路由器及編碼器設(shè)備重新?lián)芴栠B接并訪問。如果網(wǎng)絡(luò)通訊正常，但此時還不能訪問視頻，建議更換前端路由器來嘗試解決。青島微型編碼器直銷廠家
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