暗場缺陷檢查設(shè)備是一種**于45納米及以上工藝半導(dǎo)體制造缺陷檢測的分析儀器。該設(shè)備通過低角度散射信號收集技術(shù)抑制前層噪音,顯著提高信噪比,同時具備檢測0.2微米級微粒缺陷與圖形缺陷的雙重能力 [1-3]。在滿足基本檢測靈敏度的條件下,其吞吐量可達每小時20片晶圓 [1-2]。主要應(yīng)用于集成電路研發(fā)領(lǐng)域,典型用戶包括上海集成電路研發(fā)中心有限公司采用低角度散射信號收集技術(shù),通過優(yōu)化光學(xué)路徑抑制晶圓前層結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的背景噪音,提升檢測信號與背景噪音的比例 [1-2]。當產(chǎn)品可靠性很重要、低混合度的大批量制造、和元件供應(yīng)穩(wěn)定時,制造商優(yōu)先采用這個目標。姑蘇區(qū)附近自動化缺陷檢測設(shè)備維修電話
由于工藝波動和器件邊緣的阻擋作 用,導(dǎo)致不能完全形成一個完整的上半月型焊點。盡管沒有 形成一個上半月型的焊點,但也可以被認為焊接得很好。 “鷗翼”型引腳焊錫的側(cè)面爬升情況由于器件變化或 焊盤設(shè)計的原因,并不是經(jīng)常能夠被檢查出來,這是由于 焊錫的爬升方向必須用同引腳方向垂直的角度去檢查。假 如爬升很小,必須從其他角度來檢查,而只有通過這樣的輔助檢查,才能提供豐富的圖像信息去評估焊點的好壞。? 斜角檢測:PLCCs型器件高新區(qū)附近自動化缺陷檢測設(shè)備維修電話典型地包括詳細的缺陷分類和元件貼放偏移信息。
基準點圖4設(shè)備可以檢查所有 類型的基準點,而且任 何構(gòu)件都可以被定義成 一個基準點。雖然三個基 準點可以補償一塊單板的 變形,但通常情況下只需 要確定兩個基準點就可以 了。每個基準點至少離單 板邊緣5mm(0.2”)。 十字形、菱形、星形等比較適用,并建議使用統(tǒng)一的黑背 景。此外,十字形的基準點特別有優(yōu)勢,他們在檢測光下的圖像十分穩(wěn)定且可以被快速和容易地判定。。確認壞板設(shè)備有能力檢查所有已知類型的壞板標識。板上的任 何構(gòu)件都可以被定義為壞板標識。這里建議采用與上述基 準點的判定相類似的方法,即在可能的情況下,首先通過 檢查整板或已完成組裝的單板上的單個壞板標識來進行確 認。板上每個單獨的壞板標識只有在整板的壞板標識檢查失敗后才會被逐一檢查;整板的壞板標識應(yīng)該定位于PCB的邊上。
超聲波探傷超聲波在介質(zhì)中傳播時有多種波型,檢驗中**常用的為縱波、橫波、表面波和板波。用縱波可探測金屬鑄錠、坯料、中厚板、大型鍛件和形狀比較簡單的制件中所存在的夾雜物、裂縫、縮管、白點、分層等缺陷;用橫波可探測管材中的周向和軸向裂縫、劃傷、焊縫中的氣孔、夾渣、裂縫、未焊透等缺陷;用表面波可探測形狀簡單的鑄件上的表面缺陷;用板波可探測薄板中的缺陷。如圖《DAUTD系統(tǒng)組成結(jié)構(gòu)》給出一個基于PC-DSP的數(shù)字化超聲波自動探傷系統(tǒng)( DAUTD)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。整個系統(tǒng)由探頭陣列、機械傳動裝置、傳動控制卡、4× 4模擬通道處理板、電源控制與同步觸發(fā)板、數(shù)字信號處理板、工控機及其外設(shè)組成。AOI的中文全稱是自動光學(xué)檢測,是基于光學(xué)原理來對焊接生產(chǎn)中遇到的常見缺陷進行檢測的設(shè)備。
缺陷檢測基于光學(xué)成像與圖像處理技術(shù),通過特殊光源組合突出表面缺陷特征:暗場打光捕捉劃傷、油墨黑點等平面缺陷,明場打光檢測凹凸點、橘紋等立體缺陷,透光打光用于砂眼、崩邊等透光缺陷的輪廓定位 [1] [3]。檢測系統(tǒng)配置顯微鏡級物像放大器與**照明光源,采用線掃相機逐行拍攝技術(shù)實現(xiàn)高速采集 [2]。典型檢測系統(tǒng)包含以下**組件:基座與支架:提供機械支撐與運動機構(gòu)夾緊裝置:實現(xiàn)檢測物品的精確定位驅(qū)動機構(gòu):控制檢測區(qū)域移動與翻轉(zhuǎn)多光譜攝像頭:搭載可調(diào)式光學(xué)鏡頭組這個階段的定量過程控制數(shù)據(jù)包括,印刷偏移和焊錫量信息,而有關(guān)印刷焊錫的定性信息也會產(chǎn)生。姑蘇區(qū)附近自動化缺陷檢測設(shè)備維修電話
早期發(fā)現(xiàn)缺陷將避免將壞板送到隨后的裝配階段,AOI將減少修理成本將避免報廢不可修理的電路板。姑蘇區(qū)附近自動化缺陷檢測設(shè)備維修電話
AOI軟件中有一個綜合性的驗證功能,它能減少檢查的誤報,保證檢測程序無缺陷。它可以檢查儲存起來的有缺陷的樣品,例如,修理站存放的樣品,以及印刷了焊膏的空白印刷電路板。在優(yōu)化階段,在這方面花時間的原因是為了不讓任何缺陷溜過去。所有已知的缺陷都必須檢查,同時要把允許出現(xiàn)的誤報數(shù)量做到**小。在針對減少誤報而對任何程序進行調(diào)整時,要檢查一下,看看以前檢查出來的直正缺陷,是否得到維修站的證實。通過綜合的核實,保證檢查程序的質(zhì)量,用于專門的制造和核查,同時對誤報進行追蹤。姑蘇區(qū)附近自動化缺陷檢測設(shè)備維修電話
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