直流磁控濺射:在陽(yáng)極基片和陰極靶之間加一個(gè)直流電壓,陽(yáng)離子在電場(chǎng)的作用下轟擊靶材。直流磁控濺射的特點(diǎn)是其濺射速率一般都比較大,但一般只能用于金屬靶材。射頻磁控濺射:利用射頻電源產(chǎn)生交變電磁場(chǎng),使電子在交變電磁場(chǎng)的作用下不斷與氣體分子發(fā)生碰撞并電離出離子來(lái)轟擊靶材。射頻磁控濺射可以用于非導(dǎo)電型靶材的濺射。平衡磁控濺射與非平衡磁控濺射:平衡磁控濺射是在陰極靶材背后放置芯部與外環(huán)磁場(chǎng)強(qiáng)度相等或相近的永磁體或電磁線(xiàn)圈;非平衡磁控濺射則是外環(huán)磁場(chǎng)強(qiáng)度高于芯部磁場(chǎng)強(qiáng)度,磁力線(xiàn)沒(méi)有完全形成閉合回路,部分外環(huán)的磁力線(xiàn)延伸到基體表面。非平衡磁控濺射能夠改善膜層的質(zhì)量,使濺射出來(lái)的原子和粒子更好地沉積在基體表面形成薄膜。真空鍍膜機(jī)支持非標(biāo)定制,滿(mǎn)足航空航天等特殊領(lǐng)域的涂層需求。汽車(chē)輪轂真空鍍膜機(jī)設(shè)備廠(chǎng)家
真空鍍膜機(jī)作為一種先進(jìn)的表面處理技術(shù),在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。以下是一些具體的應(yīng)用場(chǎng)景:硬質(zhì)涂層:真空鍍膜機(jī)可用于切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等的硬質(zhì)涂層處理,提高這些工具的耐用性和性能??蛇x用磁控中頻多弧離子鍍膜設(shè)備來(lái)完成這類(lèi)應(yīng)用。防護(hù)涂層:飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片、汽車(chē)鋼板、散熱片等需要防護(hù)涂層的部件,也可以采用真空鍍膜技術(shù)進(jìn)行處理。磁控濺射鍍膜機(jī)是這類(lèi)應(yīng)用的常用設(shè)備。光學(xué)薄膜:在光學(xué)領(lǐng)域,真空鍍膜機(jī)可用于制備增透膜、高反膜、截止濾光片、防偽膜等光學(xué)薄膜。這些薄膜在光學(xué)儀器、眼鏡、照相機(jī)等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用??蛇x用光學(xué)鍍膜設(shè)備來(lái)完成這類(lèi)應(yīng)用。上海汽車(chē)飾板真空鍍膜機(jī)廠(chǎng)家直銷(xiāo)多弧離子鍍膜機(jī)通過(guò)電弧放電實(shí)現(xiàn)硬質(zhì)涂層的快速沉積。
真空系統(tǒng)維護(hù):
真空泵保養(yǎng):
定期換油:真空泵油是真空泵正常運(yùn)行的關(guān)鍵。一般根據(jù)使用頻率和泵的型號(hào),每 3 - 6 個(gè)月更換一次真空泵油。因?yàn)殚L(zhǎng)時(shí)間使用后,泵油會(huì)受到污染,含有雜質(zhì),這會(huì)影響泵的抽氣性能。例如,在頻繁使用真空鍍膜機(jī)的工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境中,每 3 個(gè)月就應(yīng)該更換一次油。
檢查密封件:密封件的良好狀態(tài)對(duì)于維持真空泵的真空度至關(guān)重要。應(yīng)每月檢查一次密封件是否有磨損、老化的跡象。如果發(fā)現(xiàn)密封件損壞,要及時(shí)更換,否則會(huì)導(dǎo)致空氣泄漏,影響真空系統(tǒng)的性能。
磁控濺射技術(shù)在多個(gè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用,包括但不限于:微電子領(lǐng)域:用于制備歐姆接觸的金屬電極薄膜及介質(zhì)薄膜沉積等。光學(xué)領(lǐng)域:用于制備增透膜、低輻射玻璃和透明導(dǎo)電玻璃等。機(jī)械加工工業(yè):用于制作表面功能膜、超硬膜、自潤(rùn)滑薄膜等,提高表面硬度、復(fù)合韌性、耐磨損性和抗高溫化學(xué)穩(wěn)定性能。此外,磁控濺射技術(shù)還在高溫超導(dǎo)薄膜、鐵電體薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜發(fā)光材料、太陽(yáng)能電池、記憶合金薄膜研究等方面發(fā)揮重要作用。綜上所述,磁控濺射技術(shù)是一種高效、低溫、環(huán)保的薄膜沉積技術(shù),具有廣泛的應(yīng)用前景和發(fā)展?jié)摿?。設(shè)備維護(hù)需定期清潔腔體內(nèi)壁,防止殘留物影響后續(xù)鍍膜質(zhì)量。
真空鍍膜機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn):
環(huán)保性好無(wú)污染物排放:真空鍍膜過(guò)程在真空環(huán)境中進(jìn)行,不需要使用大量的化學(xué)溶液,不會(huì)像傳統(tǒng)電鍍等工藝那樣產(chǎn)生大量的廢液、廢氣等污染物,對(duì)環(huán)境十分友好,符合現(xiàn)代綠色生產(chǎn)的要求。
能源消耗低:相較于一些傳統(tǒng)鍍膜方法,真空鍍膜機(jī)在運(yùn)行過(guò)程中的能源消耗相對(duì)較低。例如,在真空蒸發(fā)鍍膜中,通過(guò)精確控制加熱功率和時(shí)間,能夠高效地將膜材蒸發(fā)并沉積在基底上,減少了不必要的能源浪費(fèi)。
安全性高對(duì)操作人員危害?。河捎诓恍枰褂么罅坑卸居泻Φ幕瘜W(xué)藥品,也不存在電鍍過(guò)程中的強(qiáng)電、強(qiáng)酸等危險(xiǎn)因素,因此在正常操作條件下,真空鍍膜機(jī)對(duì)操作人員的健康和安全威脅較小。 真空鍍膜機(jī)配備在線(xiàn)膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng),可精確控制納米級(jí)薄膜沉積量。江蘇刀具真空鍍膜機(jī)定制
光學(xué)鍍膜機(jī)采用多層干涉原理制備高精度增透/反射膜。汽車(chē)輪轂真空鍍膜機(jī)設(shè)備廠(chǎng)家
常壓化學(xué)氣相沉積(APCVD)鍍膜機(jī)原理:在常壓下,利用氣態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),在基體表面沉積形成固態(tài)薄膜。應(yīng)用行業(yè):在半導(dǎo)體制造中,用于生長(zhǎng)二氧化硅、氮化硅等絕緣薄膜,以及多晶硅等半導(dǎo)體材料;在刀具涂層領(lǐng)域,可制備氮化鈦等硬質(zhì)涂層,提高刀具的硬度和耐磨性。低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)鍍膜機(jī)原理:在較低的壓力下進(jìn)行化學(xué)氣相沉積,通過(guò)精確控制反應(yīng)氣體的流量、溫度等參數(shù),實(shí)現(xiàn)薄膜的生長(zhǎng)。應(yīng)用行業(yè):主要應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路制造,可制備高質(zhì)量的薄膜,如用于制造金屬互連層的鎢膜、銅膜等;在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造中,用于沉積各種功能薄膜,如用于制造微傳感器、微執(zhí)行器等的氮化硅、氧化硅薄膜。汽車(chē)輪轂真空鍍膜機(jī)設(shè)備廠(chǎng)家