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例如,基于半導(dǎo)體硅材料壓阻效應(yīng)的壓力傳感器、基于石英材料壓電效應(yīng)的微加速度傳感器、基于磁致伸縮材料伸縮效應(yīng)的微位移傳感器等。1.應(yīng)用于醫(yī)療MEMS傳感器應(yīng)用于無創(chuàng)胎心檢測,檢測胎兒心率是一項技術(shù)性很強的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,用人工計數(shù)很難測量準確。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護儀,價格昂貴,*為少數(shù)大醫(yī)院使用,在中、小型醫(yī)院及廣大的農(nóng)村地區(qū)無法普及。此外,超聲振動波作用于胎兒,會對胎兒產(chǎn)生很大的不利作用。盡管檢測劑量很低,也屬于有損探測范疇,不適于經(jīng)常性、重復(fù)性的檢查及家庭使用。按照生物敏感物質(zhì)相互作用的類型分類,可分為親和型和代謝型兩種。閔行區(qū)標準傳感器檢測
MEMS傳感器是MEMS器件的一個重要分支,作為微機電系統(tǒng)的重要組成部分,MEMS傳感器是實現(xiàn)微機電系統(tǒng)感知和信號處理的功能器件。這種傳感器采用MEMS制造技術(shù),即微電子制造技術(shù)和微機械加工制造技術(shù),其材料、工作原理、制作工藝等方面與傳統(tǒng)傳感器有相當大的區(qū)別。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應(yīng)工作的,它的制作工藝結(jié)合當今先進的IC微電子加工工藝和MEMS微機械加工制造工藝來實現(xiàn),通過對材料的微機械加工,制造出可感受壓力、溫度、磁場、加速度等各種參數(shù)的穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)器件(如梁、膜、叉指等單一或復(fù)合的結(jié)構(gòu)),從而實現(xiàn)對各種相關(guān)參數(shù)的感知、測試和轉(zhuǎn)換虹口區(qū)標準傳感器性能由此可見,傳感器技術(shù)在發(fā)展經(jīng)濟、推動社會進步方面的重要作用,是十分明顯的。
24GHz雷達RFbeam 24GHz雷達傳感器24GHz雷達傳感器采用高頻微波來測量物體運動速度、距離、運動方向、方位角度信息,采用平面微帶天線設(shè)計,具有體積小、質(zhì)量輕、靈敏度高、穩(wěn)定強等特點,***運用于智能交通、工業(yè)控制、安防、體育運動、智能家居等行業(yè)。工業(yè)和信息化部2012年11月19日正式發(fā)布了《工業(yè)和信息化部關(guān)于發(fā)布24GHz頻段短距離車載雷達設(shè)備使用頻率的通知》(工信部無〔2012〕548號),明確提出24GHz頻段短距離車載雷達設(shè)備作為車載雷達設(shè)備的規(guī)范。
光傳感器不只局限于對光的探測,它還可以作為探測元件組成其他傳感器,對許多非電量進行檢測,只要將這些非電量轉(zhuǎn)換為光信號的變化即可。光傳感器是產(chǎn)量**多、應(yīng)用**廣的傳感器之一,它在自動控制和非電量電測技術(shù)引中占有非常重要的地位。**簡單的光敏傳感器是光敏電阻,當光子沖擊接合處就會產(chǎn)生電流。生物生物傳感器的概念傳感器(圖11)生物傳感器是用生物活性材料(酶、蛋白質(zhì)、DNA、抗體、抗原、生物膜等)與物理化學(xué)換能器有機結(jié)合的一門交叉學(xué)科,是發(fā)展生物技術(shù)必不可少的一種先進的檢測方法與監(jiān)控方法,也是物質(zhì)分子水平的快速、微量分析方法。霍爾傳感器分為線性型霍爾傳感器和開關(guān)型霍爾傳感器兩種。
國內(nèi)在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作,如西安電子科技大學(xué)研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學(xué)微電子所開發(fā)的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵、壓阻電橋檢測的方式,其敏感結(jié)構(gòu)為高度對稱的4角支撐質(zhì)量塊形式,在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個諧振梁用于信號檢測。3、微機械陀螺角速度一般是用陀螺儀來進行測量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動的物體具有保持其角動量的特性來測量角速度的。這種陀螺儀的精度很高,但它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,使用壽命短,成本高,一般*用于導(dǎo)航方面,而難以在一般的運動控制系統(tǒng)中應(yīng)用。實際上,如果不是受成本限制,角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統(tǒng)、攝象機的穩(wěn)定系統(tǒng)、醫(yī)用儀器、***儀器、運動機械、計算機慣性鼠標、***等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。常見的微機械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu),懸臂梁結(jié)構(gòu)、音叉結(jié)構(gòu)、振動環(huán)結(jié)構(gòu)等。但是,實現(xiàn)的微機械陀螺的精度還不到10°/h,離慣性導(dǎo)航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠。傳感器的存在和發(fā)展,讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官,讓物體變得活了起來,傳感器是人類五官的延長。上海標準傳感器設(shè)計
線性型霍爾傳感器由霍爾元件、線性放大器和射極跟隨器組成,它輸出模擬量。閔行區(qū)標準傳感器檢測
各種生物傳感器有以下共同的結(jié)構(gòu):包括一種或數(shù)種相關(guān)生物活性材料(生物膜)及能把生物活性表達的信號轉(zhuǎn)換為電信號的物理或化學(xué)換能器(傳感器),二者組合在一起,用現(xiàn)代微電子和自動化儀表技術(shù)進行生物信號的再加工,構(gòu)成各種可以使用的生物傳感器分析裝置、儀器和系統(tǒng)。生物傳感器的原理待測物質(zhì)經(jīng)擴散作用進入生物活性材料,經(jīng)分子識別,發(fā)生生物學(xué)反應(yīng),產(chǎn)生的信息繼而被相應(yīng)的物理或化學(xué)換能器轉(zhuǎn)變成可定量和可處理的電信號,再經(jīng)二次儀表放大并輸出,便可知道待測物濃度。閔行區(qū)標準傳感器檢測
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