干涉儀技術參數(shù)：5D/6D標準型：1.線性：0.5ppm.2.測量范圍：40米（1D可選80米）3.線性分辨力：0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍：800角秒6.滾動角精度：1.0角秒7.直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍：500um9.垂直度精度：1角秒10.溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。3軸：測量不穩(wěn)定的俯仰pitch和偏航運動yaw！三維輪廓激光干涉儀缺陷檢測
被光束照射到的電子會吸收光子的能量，但是其中機制遵照的是一種非全有即全無的判據(jù)，光子所有能量都必須被吸收，用來克服逸出功，否則這能量會被釋出。假若電子所吸收的能量能夠克服逸出功，并且還有剩余能量，則這剩余能量會成為電子在被發(fā)射后的動能。逸出功W是從金屬表面發(fā)射出一個光電子所需要的較小能量。如果轉換到頻率的角度來看，光子的頻率必須大于金屬特征的極限頻率，才能給予電子足夠的能量克服逸出功。逸出功與極限頻率之間的關系為其中，h是普朗克常數(shù)，W是光頻率為的光子的能量?？朔莩龉χ?，光電子的比較大動能為其中，hv是光頻率為v的光子所帶有并且被電子吸收的能量。實際物理要求動能必須是正值，因此，光頻率必須大于或等于極限頻率，光電效應才能發(fā)生。 三維輪廓激光干涉儀缺陷檢測使其可以測量長達40米的距離！
一次繞組可調，二次多繞組電流互感器。這種電流互感器的特點是變比量程多，而且可以變更，多見于高壓電流互感器。其一次繞組分為兩段，分別穿過互感器的鐵心，二次繞組分為兩個帶抽頭的、不同準確度等級的獨自繞組。一次繞組與裝置在互感器外側的連接片連接，通過變更連接片的位置，使一次繞組形成串聯(lián)或并聯(lián)接線，從而改變一次繞組的匝數(shù)，以獲得不同的變比。帶抽頭的二次繞組自身分為兩個不同變比和不同準確度等級的繞組，隨著一次繞組連接片位置的變更，一次繞組匝數(shù)相應改變，其變比也隨之改變，這樣就形成了多量程的變比
電力系統(tǒng)為了傳輸電能，往往采用交流電壓、大電流回路把電力送往用戶，無法用儀表進行直接測量?；ジ衅鞯淖饔?，就是將交流電壓和大電流按比例降到可以用儀表直接測量的數(shù)值，便于儀表直接測量，同時為繼電保護和自動裝置提供電源。電力系統(tǒng)用互感器是將電網(wǎng)高電壓、大電流的信息傳遞到低電壓、小電流二次側的計量、測量儀表及繼電保護、自動裝置的一種特殊變壓器，是一次系統(tǒng)和二次系統(tǒng)的聯(lián)絡元件，其一次繞組接入電網(wǎng)，二次繞組分別與測量儀表、保護裝置等互相連接?；ジ衅髋c測量儀表和計量裝置配合，可以測量一次系統(tǒng)的電壓、電流和電能；與繼電保護和自動裝置配合，可以構成對電網(wǎng)各種故障的電氣保護和自動控制?；ジ衅餍阅艿暮脡?，直接影響到電力系統(tǒng)測量、計量的準確性和繼電器保護裝置動作的可靠性。 世界各國都十分重視這一領域的發(fā)展。
升降變差1能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表，其指示值的升降變差不應超過表7規(guī)定值的1.5倍。其它儀表的升降變差不應超過表的規(guī)定。2測定升降變差時，應在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個方向平穩(wěn)地移向標度尺某一個分度線，讀取標準表的讀數(shù)；然后再從另一個方向平穩(wěn)地移向標度尺的同一個分度線，再次讀取標準表的讀數(shù)，標準表兩次讀數(shù)之差即為升降變差。允許根據(jù)被檢表讀數(shù)之差測定升降變差，這時應維持被測量之值不變。測定儀表升降變差時應遵守規(guī)定，若被測之量連續(xù)可調，可與測定基本誤差一同進行。晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量!三維輪廓激光干涉儀缺陷檢測
不穩(wěn)定的偏航和俯仰測量。三維輪廓激光干涉儀缺陷檢測
結構原理：普通電流互感器結構原理：電流互感器的結構較為簡單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構架、殼體、接線端子等組成。
其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數(shù)（N1）較少，直接串聯(lián)于電源線路中，一次負荷電流(I1)通過一次繞組時，產(chǎn)生的交變磁通感應產(chǎn)生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數(shù)（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負荷（Z）串聯(lián)形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數(shù)，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實際運行中負荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態(tài)，相當于一個短路運行的變壓器。 三維輪廓激光干涉儀缺陷檢測