微型電流互感器稱之為“儀用電流互感器”。（“儀用電流互感器”有一層含義是在實驗室使用的多電流比精密電流互感器，一般用于擴大儀表量程。）電流互感器原理線路圖微型電流互感器與變壓器類似也是根據(jù)電磁感應(yīng)原理工作，變壓器變換的是電壓而微型電流互感器變換的是電流罷了。繞組N1接被測電流，稱為一次繞組（或原邊繞組、初級繞組）；繞組N2接測量儀表，稱為二次繞組（或副邊繞組、次級繞組）。根據(jù)不同的需要，組合式電流電壓互感器分為V/V接線和Y/Y接線兩種，以計量三相負荷平衡或不平衡時的電能。100pm/步的線性偏移被確定。佛山激光干涉儀深度測量
擴散型半導體應(yīng)變片這種應(yīng)變片是將P型雜質(zhì)擴散到一個高電阻N型硅基底上，形成一層極薄的P型導電層，然后用超聲波或熱壓焊法焊接引線而制成（圖2）。它的優(yōu)點是穩(wěn)定性好，機械滯后和蠕變小，電阻溫度系數(shù)也比一般體型半導體應(yīng)變片小一個數(shù)量級。缺點是由于存在P-N結(jié)，當溫度升高時，絕緣電阻大為下降。半導體應(yīng)變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導體單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種敏感元件。新型固態(tài)壓阻式傳感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用擴散法制成的。天津高精度激光干涉儀三坐標測量機和加工中心的校準。
(3)非接觸測頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對此已經(jīng)提出迫切要求，這是今后坐標測量機發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測頭已完全被國外所壟斷，非接觸測頭還沒有發(fā)展成熟，我們有參與競爭的機遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進展，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1～0.5μm分辨率。(5)新器件，新材料。過去，科研評價體系存在偏重于整機和系統(tǒng)，忽視材料和器件的趨向。新的突破點可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測器。目前探測器的響應(yīng)頻率只有10的9次方，而光頻高達10的14次方，目前干涉儀實際上是起著混頻器的作用，適應(yīng)探測器的不足(如果探測器的響應(yīng)果真能超過光頻，干涉儀也就沒有用了)。如果探測器的性能得到顯著提高，對于通訊也是很大的突破。
激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。 3軸：測量不穩(wěn)定的俯仰pitch和偏航運動yaw！
互感器分為電壓互感器和電流互感器兩大類。電壓互感器可在高壓和超高壓的電力系統(tǒng)中用于電壓和功率的測量等。電流互感器可用在交換電流的測量、交換電度的測量和電力拖動線路中的保護。電壓互感器按用途分測量用電壓互感器或電壓互感器的測量繞組：在正常電壓范圍內(nèi)，向測量、計量裝置提供電網(wǎng)電壓信息；保護用電壓互感器或電壓互感器的保護繞組：在電網(wǎng)故障狀態(tài)下，向繼電保護等裝置提供電網(wǎng)故障電壓信息。按絕緣介質(zhì)分干式電壓互感器：由普通絕緣材料浸漬絕緣漆作為絕緣，多用在及以下低電壓等級；澆注絕緣電壓互感器：由環(huán)氧樹脂或其他樹脂混合材料澆注成型，多用在及以下電壓等級；油浸式電壓互感器：由絕緣紙和絕緣油作為絕緣，是我國較為常見的結(jié)構(gòu)型式，常用于及以下電壓等級；氣體絕緣電壓互感器：由氣體作主絕緣，多用在較高電壓等級。通常只提供測量用的低電壓互感器是干式，高壓或超高壓密封式氣體絕緣(如六氟化硫)互感器也是干式。澆注式適用于35kV及以下的電壓互感器，35kV以上的產(chǎn)品均為油浸式。樣品和細胞的擴張/收縮 長度相對變化（ΔL）。天津高精度激光干涉儀
擺動，θx（Φ）和θy（Φ），它是通過組合兩個XY-跳動誤差水平計算出來的。 其中Φ是圍繞Z軸的樣本旋轉(zhuǎn)。佛山激光干涉儀深度測量
帶抽頭的二次獨自繞組的不同變比和不同準確度等級，可以分別應(yīng)用于電能計量、指示儀表、變送器、繼電保護等，以滿足各自不同的使用要求。組合式電流電壓互感器。組合式互感器由電流互感器和電壓互感器組合而成，多安裝于高壓計量箱、柜，用作計量電能或用作用電設(shè)備繼電保護裝置的電源。組合式電流電壓互感器是將兩臺或三臺電流互感器的一次、二次繞組及鐵心和電壓互感器的一、二次繞組及鐵心，固定在鋼體構(gòu)架上，浸入裝有變壓器油的箱體內(nèi)，其一、二次繞組出線均引出，接在箱體外的高、低壓瓷瓶上，形成絕緣、封閉的整體。一次側(cè)與供電線路連接，二次側(cè)與計量裝置或繼電保護裝置連接。佛山激光干涉儀深度測量