用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luogan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細(xì)結(jié)構(gòu)和超精細(xì)結(jié)構(gòu)分析。歷史上的作用。19世紀(jì)的波動(dòng)論者認(rèn)為光波或電磁波必須在彈性介質(zhì)中才得以傳播，這種假想的彈性介質(zhì)稱為以太。人們做了一系列實(shí)驗(yàn)來(lái)驗(yàn)證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎(chǔ)的實(shí)驗(yàn)極為精確，其中極有名的是菲佐實(shí)驗(yàn)和邁克耳孫-莫雷實(shí)驗(yàn)。1851年，A.H.L.菲佐用特別設(shè)計(jì)的干涉儀做了關(guān)于運(yùn)動(dòng)介質(zhì)中的光速的實(shí)驗(yàn)，以驗(yàn)明運(yùn)動(dòng)介質(zhì)是否曳引以太。1887年，A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測(cè)地球相對(duì)juedui靜止的以太的運(yùn)動(dòng)。對(duì)以太的研究為A.愛因斯坦的狹義相對(duì)論提供了佐證。干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統(tǒng)及低溫恒溫器！納米精度激光干涉儀運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
干涉儀技術(shù)參數(shù)：5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：1.線性：0.5ppm.2.測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）3.線性分辨力：0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍：800角秒6.滾動(dòng)角精度：1.0角秒7.直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍：500um9.垂直度精度：1角秒10.溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。 納米精度激光干涉儀運(yùn)動(dòng)平臺(tái)軸的直徑為10毫米，以每分鐘2160轉(zhuǎn)（RPM）旋轉(zhuǎn)。
按相數(shù)分絕大多數(shù)產(chǎn)品是單相的，因?yàn)殡妷夯ジ衅魅萘啃?，器身體積不大，三相高壓套管間的內(nèi)外絕緣要求難以滿足，所以只有3-15kV的產(chǎn)品有時(shí)采用三相結(jié)構(gòu)。按電壓變換原理分電磁式電壓互感器：根據(jù)電磁感應(yīng)原理變換電壓，原理與基本結(jié)構(gòu)和變壓器完全相似，我國(guó)多在及以下電壓等級(jí)采用；電容式電壓互感器：由電容分壓器、補(bǔ)償電抗器、中間變壓器、阻尼器及載波裝置防護(hù)間隙等組成，用在中性點(diǎn)接地系統(tǒng)里作電壓測(cè)量、功率測(cè)量、繼電防護(hù)及載波通訊用；光電式電壓互感器：通過(guò)光電變換原理以實(shí)現(xiàn)電壓變換，還在研制中。按使用條件分戶內(nèi)型電壓互感器：安裝在室內(nèi)配電裝置中，一般用在及以下電壓等級(jí)；戶外型電壓互感器：安裝在戶外配電裝置中，多用在及以上電壓等級(jí)。
5指針不應(yīng)彎曲，與標(biāo)度盤表面間的距離要適當(dāng)。對(duì)裝有反射鏡式讀數(shù)裝置的儀表應(yīng)不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應(yīng)不大于(0.01L+1)MM。指針與標(biāo)度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標(biāo)度尺邊緣的間隙應(yīng)不超過(guò)(0.01L+0.8)MM。其中L是標(biāo)度尺長(zhǎng)度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應(yīng)蓋住標(biāo)度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；
6檢查有無(wú)封印，外殼密封是否良好。三相儀表應(yīng)在對(duì)稱電壓和平衡負(fù)載的條件下檢驗(yàn)。三相系統(tǒng)中每一個(gè)線電壓或相電壓以及電流與系統(tǒng)中相應(yīng)量的平均值之差均不應(yīng)大于1%。各個(gè)相電流與對(duì)應(yīng)相電壓的相位差之間的差值不大于2°。 振動(dòng)分析有助于檢測(cè)共振頻率！
不同變比電流互感器。這種型號(hào)的電流互感器具有同一個(gè)鐵心和一次繞組，而二次繞組則分為兩個(gè)匝數(shù)不同、各自獨(dú)自的繞組，以滿足同一負(fù)荷電流情況下不同變比、不同準(zhǔn)確度等級(jí)的需要，例如在同一負(fù)荷情況下，為了保證電能計(jì)量準(zhǔn)確，要求變比較小一些（以滿足負(fù)荷電流在一次額定值的2/3左右），準(zhǔn)確度等級(jí)高一些（如1K1.1K2為200/5.0.2級(jí)）；而用電設(shè)備的繼電保護(hù)，考慮到故障電流的保護(hù)系數(shù)較大，則要求變比較大一些，準(zhǔn)確度等級(jí)可以稍低一點(diǎn)（如2K1.2K2為300/5.1級(jí)）。 超精密和非接觸式表面分析。翹曲度激光干涉儀
非接觸式檢測(cè)軸承誤差。納米精度激光干涉儀運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有高的強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。 納米精度激光干涉儀運(yùn)動(dòng)平臺(tái)