測(cè)量激光干涉儀高精度測(cè)量

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-07-18

干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類,前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等,后者有法布里-珀luogan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guangfan。長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中,若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成,根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或juedui測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luogan涉儀曾被用來(lái)以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變,介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變,從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過(guò)條紋移動(dòng)來(lái)對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來(lái)對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。       更多的測(cè)量軸有助于更多的旋轉(zhuǎn)參數(shù):偏心率,表面質(zhì)量, 傾斜誤差和徑向運(yùn)動(dòng)。測(cè)量激光干涉儀高精度測(cè)量

從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。番禺區(qū)激光干涉儀共焦以太網(wǎng)Web界面(工業(yè)4.0)。

雙頻激光干涉儀:在氦氖激光器上,加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。

互感器分為電壓互感器和電流互感器兩大類。電壓互感器可在高壓和超高壓的電力系統(tǒng)中用于電壓和功率的測(cè)量等。電流互感器可用在交換電流的測(cè)量、交換電度的測(cè)量和電力拖動(dòng)線路中的保護(hù)。電壓互感器按用途分測(cè)量用電壓互感器或電壓互感器的測(cè)量繞組:在正常電壓范圍內(nèi),向測(cè)量、計(jì)量裝置提供電網(wǎng)電壓信息;保護(hù)用電壓互感器或電壓互感器的保護(hù)繞組:在電網(wǎng)故障狀態(tài)下,向繼電保護(hù)等裝置提供電網(wǎng)故障電壓信息。按絕緣介質(zhì)分干式電壓互感器:由普通絕緣材料浸漬絕緣漆作為絕緣,多用在及以下低電壓等級(jí);澆注絕緣電壓互感器:由環(huán)氧樹脂或其他樹脂混合材料澆注成型,多用在及以下電壓等級(jí);油浸式電壓互感器:由絕緣紙和絕緣油作為絕緣,是我國(guó)較為常見(jiàn)的結(jié)構(gòu)型式,常用于及以下電壓等級(jí);氣體絕緣電壓互感器:由氣體作主絕緣,多用在較高電壓等級(jí)。通常只提供測(cè)量用的低電壓互感器是干式,高壓或超高壓密封式氣體絕緣(如六氟化硫)互感器也是干式。澆注式適用于35kV及以下的電壓互感器,35kV以上的產(chǎn)品均為油浸式。擺動(dòng),θx(Φ)和θy(Φ),它是通過(guò)組合兩個(gè)XY-跳動(dòng)誤差水平計(jì)算出來(lái)的。 其中Φ是圍繞Z軸的樣本旋轉(zhuǎn)。

按一次繞組對(duì)地運(yùn)行狀態(tài)分一次繞組接地的電壓互感器:?jiǎn)蜗嚯妷夯ジ衅饕淮卫@組的末端或三相電壓互感器一次繞組的中性點(diǎn)直接接地;一次繞組不接地的電壓互感器:?jiǎn)蜗嚯妷夯ジ衅饕淮卫@組兩端子對(duì)地都是絕緣的;三相電壓互感器一次繞組的各部分,包括接線端子對(duì)地都是絕緣的,而且絕緣水平與額定絕緣水平一致。按磁路結(jié)構(gòu)分單級(jí)式電壓互感器:一次繞組和二次繞組 (根據(jù)需要可設(shè)多個(gè)二次繞組同繞在一個(gè)鐵芯上,鐵芯為地電位。我國(guó)在及以下電壓等級(jí)均用單級(jí)式;串級(jí)式電壓互感器:一次繞組分成幾個(gè)匝數(shù)相同的單元串接在相與地之間,每一單元有各自獨(dú)自的鐵芯,具有多個(gè)鐵芯,且鐵芯帶有高電壓,二次繞組(根據(jù)需要可設(shè)多個(gè)二次繞組處在較為末一個(gè)與地連接的單元。我國(guó)在電壓等級(jí)常用此種結(jié)構(gòu)型式;組合式互感器:由電壓互感器和電流互感器組合并形成一體的互感器稱為組合式互感器,也有把與組合電器配套生產(chǎn)的互感器稱為組合式互感器。    使用BiSS-C接口觸發(fā)八個(gè)軸的位置檢測(cè)!安徽3D激光干涉儀

包括與機(jī)器的數(shù)據(jù)交互接口,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量線和誤差補(bǔ)償!測(cè)量激光干涉儀高精度測(cè)量

按一次繞組對(duì)地運(yùn)行狀態(tài)分一次繞組接地的電壓互感器:?jiǎn)蜗嚯妷夯ジ衅饕淮卫@組的末端或三相電壓互感器一次繞組的中性點(diǎn)直接接地;一次繞組不接地的電壓互感器:?jiǎn)蜗嚯妷夯ジ衅饕淮卫@組兩端子對(duì)地都是絕緣的;三相電壓互感器一次繞組的各部分, 包括接線端子對(duì)地都是絕緣的,而且絕緣水平與額定絕緣水平一致。按磁路結(jié)構(gòu)分單級(jí)式電壓互感器:一次繞組和二次繞組(根據(jù)需要可設(shè)多個(gè)二次繞組同繞在一個(gè)鐵芯上,鐵芯為地電位。我國(guó)在及以下電壓等級(jí)均用單級(jí)式;串級(jí)式電壓互感器:一次繞組分成幾個(gè)匝數(shù)相同的單元串接在相與地之間,每一單元有各自獨(dú)自的鐵芯,具有多個(gè)鐵芯,且鐵芯帶有高電壓,二次繞組(根據(jù)需要可設(shè)多個(gè)二次繞組處在較為末一個(gè)與地連接的單元。我國(guó)在電壓等級(jí)常用此種結(jié)構(gòu)型式;組合式互感器:由電壓互感器和電流互感器組合并形成一體的互感器稱為組合式互感器,也有把與組合電器配套生產(chǎn)的互感器稱為組合式互感器。 測(cè)量激光干涉儀高精度測(cè)量