從激光器發(fā)出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。雖然加速度計可用于測量頻率> ~20 Hz @ 10 kHz的鏡像虛擬儀。段差激光干涉儀多層厚度測量
1、一次線圈串聯(lián)在電路中，并且匝數很少，因此，一次線圈中的電流完全取決于被測電路的負荷電流．而與二次電流無關；
2、電流互感器二次線圈所接儀表和繼電器的電流線圈阻抗都很小，所以正常情況下，電流互感器在近于短路狀態(tài)下運行。電流互感器一、二次額定電流之比，稱為電流互感器的額定互感比：kn=I1n/I2n因為一次線圈額定電流I1n己標準化，二次線圈額定電流I2n統(tǒng)一為5（1或0.5）安，所以電流互感器額定互感比亦已標準化。kn還可以近似地表示為互感器一、二次線圈的匝數比，即kn≈kN=N1/N2式中N1.N2為一、二線圈的匝數。 廣州激光干涉儀厚度測量擺動，θx（Φ）和θy（Φ），它是通過組合兩個XY-跳動誤差水平計算出來的。 其中Φ是圍繞Z軸的樣本旋轉。
結構原理：普通電流互感器結構原理：電流互感器的結構較為簡單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構架、殼體、接線端子等組成。
其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數（N1）較少，直接串聯(lián)于電源線路中，一次負荷電流(I1)通過一次繞組時，產生的交變磁通感應產生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負荷（Z）串聯(lián)形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實際運行中負荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態(tài)，相當于一個短路運行的變壓器。
干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類，前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luogan涉儀等。干涉儀的應用極為guangfan。長度測量在雙光束干涉儀中，若介質折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據條紋的移動數可進行長度的精確比較或juedui測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luogan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。折射率測定兩光束的幾何路程保持不變，介質折射率變化也可導致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型干涉儀。應用于風洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進行實時觀察。分析電動機在不同轉速下的振動。
5指針不應彎曲，與標度盤表面間的距離要適當。對裝有反射鏡式讀數裝置的儀表應不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應不大于(0.01L+1)MM。指針與標度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標度尺邊緣的間隙應不超過(0.01L+0.8)MM。其中L是標度尺長度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應蓋住標度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；
6檢查有無封印，外殼密封是否良好。三相儀表應在對稱電壓和平衡負載的條件下檢驗。三相系統(tǒng)中每一個線電壓或相電壓以及電流與系統(tǒng)中相應量的平均值之差均不應大于1%。各個相電流與對應相電壓的相位差之間的差值不大于2°。 坐標測量機軸位置捕獲!段差激光干涉儀多層厚度測量
振動分析有助于檢測共振頻率！段差激光干涉儀多層厚度測量
引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯(lián)科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統(tǒng)（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉儀引力波探測器已經發(fā)展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱shou ci直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀，而另外一類引力波探測實驗， 脈沖星測時陣列則可認為是多路光線干涉儀（Hellings和Downs,1983）。段差激光干涉儀多層厚度測量