干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類，前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luogan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guangfan。長度測量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動數(shù)可進(jìn)行長度的精確比較或juedui測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luogan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。折射率測定兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進(jìn)行相對測量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進(jìn)行實時觀察。 振動分析有助于檢測共振頻率！高精度激光干涉儀儀器
客戶經(jīng)常打電話咨詢干涉儀，看到中間儀器有激光干涉儀和白光干涉儀，不知道哪一個能滿足自己的需求？雖然激光干涉儀和白光干涉儀都屬于干涉儀的類別，但兩者之間的區(qū)別可能很大！
激光干涉儀的工作原理
激光干涉儀激光束(圓偏振光)分為兩束激光(線偏振光)；
兩束激光分別通過角錐反射鏡A和角錐反射鏡B由于兩束激光頻率相同，振動方向相同，相位差恒定，反射后平行于出射光(紅線)返回，分光鏡后疊加。
測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。激光干涉儀應(yīng)用于機床、電機、滑臺、模塊、自動化設(shè)備、機器人等領(lǐng)域。
白光干涉儀的工作原理
光源發(fā)出的光通過分光棱鏡分為兩束，一束通過測量表面反射，另一束通過參考鏡反射，兩束反射光聚集干擾，通過測量干涉條紋的變化來測量表面的三維形狀。用白光干涉儀測量三維微觀形狀。
可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和封裝工藝檢測3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件等超精密加工行業(yè)和航空航天、科研機構(gòu)等領(lǐng)域。 測量激光干涉儀缺陷檢測儀器膨脹計：熱膨脹和磁致伸縮測量。
(3)非接觸測頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對此已經(jīng)提出迫切要求，這是今后坐標(biāo)測量機發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測頭已完全被國外所壟斷，非接觸測頭還沒有發(fā)展成熟，我們有參與競爭的機遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進(jìn)展，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1～0.5μm分辨率。(5)新器件，新材料。過去，科研評價體系存在偏重于整機和系統(tǒng)，忽視材料和器件的趨向。新的突破點可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測器。目前探測器的響應(yīng)頻率只有10的9次方，而光頻高達(dá)10的14次方，目前干涉儀實際上是起著混頻器的作用，適應(yīng)探測器的不足(如果探測器的響應(yīng)果真能超過光頻，干涉儀也就沒有用了)。如果探測器的性能得到顯著提高，對于通訊也是很大的突破。
干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類， 前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luo gan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guang fan。長度測量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動數(shù)可進(jìn)行長度的精確比較或jue dui測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luo gan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。折射率測定兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進(jìn)行相對測量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進(jìn)行實時觀察。坐標(biāo)測量機軸位置捕獲!
雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標(biāo)測量機、光刻機和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測長機、高精度三坐標(biāo)測量機等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。Beamline Fac。需要具有<100nrad RMS機械指向穩(wěn)定性的鏡架。高精度激光干涉儀儀器
易于集成（只?1.2mm，重量只幾克）。高精度激光干涉儀儀器
引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯(lián)科學(xué)家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學(xué)家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統(tǒng)（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉儀引力波探測器已經(jīng)發(fā)展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱shou ci直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認(rèn)為是兩路光線的干涉儀，而另外一類引力波探測實驗， 脈沖星測時陣列則可認(rèn)為是多路光線干涉儀（Hellings和Downs,1983）。高精度激光干涉儀儀器