3D激光干涉儀位移測量

來源: 發(fā)布時間:2023-05-09

引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯(lián)科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的(Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統(tǒng)(Weiss 1972)。截止jin ri,激光干涉儀引力波探測器已經(jīng)發(fā)展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱shou ci直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀,而另外一類引力波探測實驗, 脈沖星測時陣列則可認為是多路光線干涉儀(Hellings和Downs,1983)。能夠測量液體的表面運動,開啟了在各科學和工業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)獨特應(yīng)用的可能性。3D激光干涉儀位移測量

高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm,并正向0.18μm過渡,2009年的預(yù)測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3,那么就要求10nm量級的精度,而且晶片尺寸還在增大,達到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方,相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級。

高速度。目前加工機械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上,上世紀80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領(lǐng),其原因是后者的速度達到了1m/sec。 北京激光干涉儀位移軸的直徑為10毫米,以每分鐘2160轉(zhuǎn)(RPM)旋轉(zhuǎn)。

單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù),再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù)),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。

檢驗周期規(guī)定

A.控制盤和配電盤儀表的定期檢驗應(yīng)與該儀表所連接的主要設(shè)備的大修日期一致,不應(yīng)延誤。但主要設(shè)備主要線路的儀表應(yīng)每年檢驗一次,其它盤的儀表每四年至少檢驗一次;

B.對運行中設(shè)備的控制盤儀表的指示發(fā)生疑問時,可用標準儀表在其工作點上用比較法進行核對;

C.可攜式儀表(包括臺表)的檢驗,每年至少一次,常用的儀表每半年至少一次。經(jīng)兩次以上檢驗,證明質(zhì)量好的儀表,可以延長檢驗期一倍。D.萬用電表、鉗形表每四年至少檢驗一次。兆歐表和接地電阻測定器每二年至少檢驗一次,但用于高壓電路使用的鉗形表和作吸收比用的兆歐表每年至少檢驗一次。 在測量軟件WAVE的FFT圖中,實時顯示位移數(shù)據(jù),可快速簡便地進行頻譜分析,以識別共振頻率。

在物理學家關(guān)于氣體或其他有重物體所形成的理論觀念同麥克斯韋關(guān)于所謂空虛空間中的電磁過程的理論之間,有著深刻的形式上的分歧。這就是,我們認為一個物體的狀態(tài)是由數(shù)目很大但還是有限個數(shù)的原子和電子的坐標和速度來完全確定的;與此相反,為了確定一個空間的電磁狀態(tài),我們就需要用連續(xù)的空間函數(shù),因此,為了完全確定一個空間的電磁狀態(tài),就不能認為有限個數(shù)的物理量就足夠了。按照麥克斯韋的理論,對于一切純電磁現(xiàn)象因而也對于光來說,應(yīng)當把能量看作是連續(xù)的空間函數(shù),而按照物理學家的看法,一個有重客體的能量,則應(yīng)當用其中原子和電子所帶能量的總和來表示。一個有重物體的能量不可能分成任意多個、任意小的部分,而按照光的麥克斯韋理論(或者更一般地說,按照任何波動理論),從一個點光源發(fā)射出來的光束的能量,則是在一個不斷增大的體積中連續(xù)地分布的。雖然加速度計可用于測量頻率> ~20 Hz @ 10 kHz的鏡像虛擬儀。北京激光干涉儀位移

熱力或磁力應(yīng)變作為ΔL與初始長度(Lo)之間的比率。3D激光干涉儀位移測量

外觀檢查規(guī)定

1 表盤上或外殼上至少應(yīng)有下述標志符號:A.儀表名稱或被測之量的標志符號;B.型號;C.系別符號;D.準確度等級;E.廠名或廠標;F.制造標準號;G.制造年月或出廠編號;H.電流種類或相數(shù),三相儀表中測量機構(gòu)的元件數(shù)量;I.正常工作位置;J.互感器的變比(指與互感器聯(lián)用的儀表);K.定值導(dǎo)線值(或符號)和分流器額定電壓降值(對低量限電壓表的要求)。

2 儀表的端鈕和轉(zhuǎn)換開關(guān)上應(yīng)有用途標志;

3 從外表看,零部件完整,無松動,無裂縫,無明顯殘缺或污損。當傾斜或輕搖儀表時,內(nèi)部無撞擊聲;

4 向左右兩方向旋動機械調(diào)零器,指示器應(yīng)轉(zhuǎn)動靈活,左右對稱; 3D激光干涉儀位移測量

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