升降變差
1 能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表，其指示值的升降變差不應超過表7 規(guī)定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應超過表的規(guī)定。
2 測定升降變差時，應在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個方向平穩(wěn)地移向標度尺某一個分度線，讀取標準表的讀數(shù)；然后再從另一個方向平穩(wěn)地移向標度尺的同一個分度線，再次讀取標準表的讀數(shù)，標準表兩次讀數(shù)之差即為升降變差。允許根據(jù)被檢表讀數(shù)之差測定升降變差，這時應維持被測量之值不變。測定儀表升降變差時應遵守規(guī)定，若被測之量連續(xù)可調(diào)，可與測定基本誤差一同進行。 在測量軟件WAVE的FFT圖中，實時顯示位移數(shù)據(jù)，可快速簡便地進行頻譜分析，以識別共振頻率。東莞激光干涉儀深度測量
擴散型半導體應變片
這種應變片是將 P型雜質(zhì)擴散到一個高電阻N型硅基底上，形成一層極薄的P型導電層，然后用超聲波或熱壓焊法焊接引線而制成（圖2）。它的優(yōu)點是穩(wěn)定性好，機械滯后和蠕變小，電阻溫度系數(shù)也比一般體型半導體應變片小一個數(shù)量級。缺點是由于存在P-N結(jié)，當溫度升高時，絕緣電阻大為下降。半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導體單晶硅的壓阻效應制成的一種敏感元件。新型固態(tài)壓阻式傳感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用擴散法制成的。 浦東新區(qū)激光干涉儀測量使用干涉測量法進行旋轉(zhuǎn)運動誤差補償。
引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯(lián)科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統(tǒng)（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉儀引力波探測器已經(jīng)發(fā)展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱shou ci直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀，而另外一類引力波探測實驗， 脈沖星測時陣列則可認為是多路光線干涉儀（Hellings和Downs,1983）。
干涉儀注意事項
1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。 在三個直徑為400、315和200μm的金屬圓筒上進行輪廓測量。
干涉儀維護：1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動，儀器搬動時，應托住底座，以防導軌變形。2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和yi mi混合液輕拭。3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。4、使用時，各調(diào)整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。6、經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動。用于校準機床，例如 快速運行的主軸。傳感器激光干涉儀平臺
膨脹計：熱膨脹和磁致伸縮測量。東莞激光干涉儀深度測量
半導體應變片:用于車輛等機械量測量的元件.半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導體單晶硅的壓阻效應制成的一種敏感元件。利用半導體單晶硅的壓阻效應制成的一種敏感元件，又稱半導體應變片。壓阻效應是半導體晶體材料在某一方向受力產(chǎn)生變形時材料的電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象（見壓阻式傳感器）。半導體應變片需要粘貼在試件上測量試件應變或粘貼在彈性敏感元件上間接地感受被測外力。東莞激光干涉儀深度測量