深圳晶圓陶瓷吸盤(pán)供貨商

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-02-13

陶瓷真空吸盤(pán)(多孔陶瓷真空吸盤(pán)),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附, 同時(shí)也可作氣浮平臺(tái),普遍應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤(pán)是密封的空氣來(lái)維持傳輸,裝置應(yīng)用只限用于平坦,無(wú)孔表面的工作平臺(tái)。使用者通常是機(jī)器操作員。在金屬加工領(lǐng)域,這是一項(xiàng)安全可靠的工件傳輸。自動(dòng)化移載、物件吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺(tái),利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力,將工作物(包括晶圓、玻璃、PET 膜或其它薄型工作物)放置陶瓷工作吸盤(pán)上,利用真空吸力使工作物固定,進(jìn)行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其它加工程序。陶瓷吸盤(pán)加工時(shí),白色硅膠條密封在吸盤(pán)格槽內(nèi)。深圳晶圓陶瓷吸盤(pán)供貨商

陶瓷真空吸盤(pán)的吸附性能隨孔徑的變化而變化。對(duì)于超微孔陶瓷和超微孔陶瓷,孔徑是分子直徑的幾倍。在吸附過(guò)程中,孔壁圍繞著被吸附的分子,孔中的范德華力非常強(qiáng);對(duì)于中孔和大孔,孔徑比吸附分子的直徑大10倍以上,并且發(fā)生典型的毛細(xì)管冷凝。根據(jù)孔隙的形狀,有時(shí)會(huì)出現(xiàn)吸附滯后等一系列現(xiàn)象。為了正確分析材料孔隙體積和孔徑,需要對(duì)材料孔隙結(jié)構(gòu)有清楚的了解,選擇正確的預(yù)處理方法(溫度、大氣、真空等)和適當(dāng)?shù)姆治瞿P?,然后獲得準(zhǔn)確科學(xué)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。由于其特殊的結(jié)構(gòu),對(duì)多孔陶瓷材料具有高比表面積、高孔隙率、高吸附性等許多優(yōu)異的物理化學(xué)性能,普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、環(huán)保、功能材料等領(lǐng)域。氣體吸附是表征多孔材料孔隙結(jié)構(gòu)的重要方法之一。深圳晶圓陶瓷吸盤(pán)供貨商微孔陶瓷吸盤(pán)在防腐蝕,抗氧化,抗冷熱沖擊這幾方面擁有的優(yōu)勢(shì)。

陶瓷吸盤(pán)比較早是用來(lái)在平面磨床中夾持非金屬工具的,這種陶瓷吸盤(pán)由中間的多孔陶瓷和邊緣的密封環(huán)組成。工作時(shí)利用多孔陶瓷上小孔將晶圓與陶瓷表面之間的空氣抽出,晶圓由于負(fù)壓被吸附在吸盤(pán)表面,從而固定。等到加工結(jié)束后,內(nèi)部的等離子水會(huì)從陶瓷表面孔內(nèi)流出,使晶圓較好的剝離且同時(shí)清洗表面。雖然陶瓷吸盤(pán)在精密磨削加工中應(yīng)用普遍,但這種方法明顯的缺陷是,當(dāng)晶圓被陶瓷吸盤(pán)吸附在吸盤(pán)表面時(shí),晶圓會(huì)由于空氣壓力或者有微小顆粒吸入使局部變形,從而影響表面平整度,使加工精度下降。另外,晶圓的一些加工步驟需要在真空環(huán)境下進(jìn)行,而陶瓷吸盤(pán)在真空環(huán)境下則完全無(wú)法工作,這種情況下只能選擇其他的夾持方式來(lái)固定晶圓。

陶瓷吸盤(pán)的應(yīng)用原理:通過(guò)施加正壓和負(fù)壓氣體吸收或漂浮工件,工件包括晶圓,玻璃,PET薄膜或其他薄物體,將負(fù)真空壓力的氣流設(shè)定為進(jìn)入陶瓷,工件可吸附,將正真空壓力的氣流設(shè)置為從陶瓷中流出,該部分可以吹起或不接觸陶瓷。陶瓷真空吸盤(pán)的吸附性能,因孔直徑而異,對(duì)于超微孔陶瓷和極微孔,孔徑是分子直徑的幾倍,在吸附時(shí),孔壁包圍吸附分子,孔內(nèi)范德華力非常強(qiáng);對(duì)于中孔和大孔,孔徑比吸附分子直徑大10倍以上,發(fā)生典型的毛細(xì)管凝聚。根據(jù)孔的形狀,有時(shí)還會(huì)出現(xiàn)吸附滯后等一系列現(xiàn)象。多孔陶瓷真空吸盤(pán)是密封的空氣來(lái)維持傳輸,裝置應(yīng)用于平坦,無(wú)孔表面的工作平臺(tái)。

一種陶瓷吸盤(pán)及其制備方法,其中,制備方法包括,獲取待打印的凸點(diǎn)的三維模型;將基體放置在3D打印設(shè)備的工作臺(tái)上,固定;根據(jù)凸點(diǎn)的三維模型,利用3D打印設(shè)備將陶瓷料漿打印在基體上,得到陶瓷吸盤(pán)的凸點(diǎn);燒結(jié),即得到陶瓷吸盤(pán)。采用3D打印技術(shù)將凸點(diǎn)打印在基體上,提高了陶瓷吸盤(pán)上各凸點(diǎn)規(guī)格的一致性,同時(shí)提高了制備效率。制備方法包括:獲取待打印的凸點(diǎn)的三維模型;將基體放置在3D打印設(shè)備的工作臺(tái)上,固定;根據(jù)凸點(diǎn)的三維模型,利用3D打印設(shè)備將陶瓷料漿打印在基體上,得到陶瓷吸盤(pán)的凸點(diǎn);燒結(jié),即得到陶瓷吸盤(pán)。陶容吸盤(pán)又稱多孔陶瓷,同時(shí)稱之為納米微孔真空吸盤(pán)。浙江氧化鋁陶瓷吸盤(pán)供應(yīng)商

陶瓷吸盤(pán)是耐高溫的。深圳晶圓陶瓷吸盤(pán)供貨商

陶瓷真空吸盤(pán)的吸附性能,因孔直徑而異,對(duì)于超微孔陶瓷和極微孔,孔徑是分子直徑的幾倍,在吸附時(shí),孔壁包圍吸附分子,孔內(nèi)范德華力非常強(qiáng);對(duì)于中孔和大孔,孔徑比吸附分子直徑大10倍以上,發(fā)生典型的毛細(xì)管凝聚。根據(jù)孔的形狀,有時(shí)還會(huì)出現(xiàn)吸附滯后等一系列現(xiàn)象。為了正確地分析出材料孔容孔徑,就需要對(duì)材料孔結(jié)構(gòu)有著清楚的認(rèn)識(shí),選擇正確的預(yù)處理方式(溫度、氛圍、真空度等)及合適的分析模型,進(jìn)而得到準(zhǔn)確科學(xué)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。陶瓷對(duì)于多孔陶瓷材料由于其特殊的結(jié)構(gòu),使其具有高比表面積,高孔隙率,高吸附性等諸多優(yōu)異的理化性能,因而在半導(dǎo)體、化工、環(huán)保、功能材料等領(lǐng)域均有普遍應(yīng)用,氣體吸附法是表征多孔材料孔隙結(jié)構(gòu)特性比較重要的方法之一。深圳晶圓陶瓷吸盤(pán)供貨商

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