Nano X-2000輪廓儀廠家

來源: 發(fā)布時間:2021-11-16

強大的輪廓儀光電一體軟件


美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換


光機電一體化軟硬件集成


三維分析處理迅速,結果實時更新


縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理


自主設定測量閾值,三維處理自動標注


測量模式可根據(jù)需求自由切換


三維圖像支持高清打印


菜單式參數(shù)設置,一鍵式操作,人機界面?zhèn)€性直觀


個性化軟件應用支持

可進行軟件在線升級和遠程支持服務


10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BD Medical

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光學測量、軟件系統(tǒng)


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三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備,它既保障了生產(chǎn)加工的準確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率。Nano X-2000輪廓儀廠家

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輪廓儀在集成電路的應用

封**ump測量  

視場:72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測位置:樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析:2D, 3D顯示;線粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…

器件多層結構臺階高  MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠實現(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題


歡迎咨詢。 CSI輪廓儀有哪些應用由于光罩中電路結構尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。

Nano X-2000輪廓儀廠家,輪廓儀

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***。(來自網(wǎng)絡)



先進的輪廓儀集成模塊


60年世界水平半導體檢測技術研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗 

所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等 

PI ,納米移動平臺及控制

Nikon,干涉物鏡

NI,信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺


VS2012/64位,.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機


1.3. 培訓計劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等,讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識。

    在整個系統(tǒng)驗收前后,安排有關人員在進行培訓。


1.4. 培訓形式

    公司指派技術人員向相關人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點;

    向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料,使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握;

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導,使相關人員掌握技術要領;

    對學員提出的問題進行詳細解答;




表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。

Nano X-2000輪廓儀廠家,輪廓儀

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標準,都可以提供***的檢測結果作為評定依據(jù),可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。

四、穩(wěn)定性強,高重復性:

  儀器運用高性能內(nèi)部抗震設計,不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合,保證高重復性,將測量誤差降低到亞納米級別。


 三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備,它既保障了生產(chǎn)加工的準確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率,滿足用戶對各項2D,3D參數(shù)檢測需求的同時,依然能夠保持高重復性,高穩(wěn)定性的運行,其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。 表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)。粗糙度儀輪廓儀特點

共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。Nano X-2000輪廓儀廠家

關于三坐標測量輪廓度及粗糙度

  三坐標測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓 ,要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標測量機精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內(nèi),還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,因為它有龍門式三坐標和關節(jié)臂三坐標,而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 Nano X-2000輪廓儀廠家