依據(jù)GB50073-2013規(guī)范，潔凈室空氣潔凈度等級按懸浮粒子濃度劃分為ISO 1級至ISO 9級。其中，ISO 1級要求每立方米≥0.1μm粒子數(shù)≤10個，而ISO 8級（十萬級）則放寬至≥0.5μm粒子數(shù)≤3,520,000個。等級確定需通過公式 Cn=10N×(0.1/D)2.08Cn=10N×(0.1/D)2.08 計算粒徑閾值，且相鄰等級壓差需≥5Pa以阻止交叉污染。半導(dǎo)體車間常要求ISO 3級（千級）以上，采用ULPA過濾器（過濾效率99.999%）保障納米級工藝環(huán)境。電子廠檢測案例顯示，萬級潔凈室需維持換氣次數(shù)≥25次/小時，送風(fēng)量按 Q=面積×層高×換氣次數(shù)Q=面積×層高×換氣次數(shù) 計算，如300㎡車間需22,500m/h風(fēng)量。光學(xué)器件老化無塵車間，溫濕度循環(huán)測試，壽命預(yù)測誤差≤5%。中國香港十萬級無塵車間工程
光學(xué)器件如鏡頭、棱鏡及光纖組件的制造，對振動與塵埃的敏感度極高。以光纖對接為例，端面清潔度直接影響插入損耗，而車間振動可能導(dǎo)致熔接點偏移，使損耗增加0.1dB以上。廣東楚嶸建設(shè)工程有限公司為光學(xué)制造設(shè)計的無塵車間，采用單獨的防振基座與空氣彈簧隔振技術(shù)，將振動頻譜控制在5Hz以下，滿足高精度光學(xué)對準需求。在鏡片研磨工序，車間設(shè)置0.45m/s勻速氣流屏障，通過垂直單向流送風(fēng)模式，確保≥0.3微米顆粒物濃度≤10粒/m。四川制藥B級無塵車間施工智能排風(fēng)與應(yīng)急裝置，保障生產(chǎn)安全與人員健康。
無塵車間，亦稱為潔凈室或無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電等控制在某一需求范圍內(nèi)的特別設(shè)計房間。其目的作用在于控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在良好環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，為眾多行業(yè)提供穩(wěn)定、可靠的生產(chǎn)環(huán)境。無塵車間的潔凈度等級一般分為十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級6個等級。不同等級適用于不同生產(chǎn)需求，等級越高，潔凈度要求越嚴格。例如，千級無塵車間將某房間內(nèi)每立方米大于或等于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量控制在1000個以內(nèi)，廣泛應(yīng)用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品生產(chǎn)、測試等領(lǐng)域。
光學(xué)器件制造，如鏡頭、棱鏡、濾光片等，對無塵車間的需求同樣迫切。光學(xué)器件的表面質(zhì)量直接影響其光學(xué)性能，如透光率、反射率和成像質(zhì)量等。因此，在光學(xué)器件制造過程中，必須嚴格控制車間內(nèi)的塵埃顆粒和污染物，以避免對器件表面造成劃傷或污染。與半導(dǎo)體制造相比，光學(xué)器件制造對無塵車間的特殊需求主要體現(xiàn)在以下幾個方面：一是車間內(nèi)的氣流組織需要更加均勻，以避免塵埃顆粒在器件表面沉積；二是車間內(nèi)的溫濕度控制需要更加精確，以避免器件因熱脹冷縮而產(chǎn)生形變；三是車間內(nèi)的振動控制需要更加嚴格，以避免對精密光學(xué)加工設(shè)備造成影響。為了滿足這些特殊需求，光學(xué)器件制造無塵車間通常采用更加先進的空氣過濾系統(tǒng)、更加精密的氣流組織設(shè)計和更加嚴格的環(huán)境控制措施。無塵車間通過FFU風(fēng)機過濾單元，實現(xiàn)0.3μm顆粒99.99%過濾效率。
在決定國家科技命脈的半導(dǎo)體晶圓廠內(nèi)，無塵車間的重要性被提升至無以復(fù)加的高度。想象一下，當(dāng)工程師們在硅片上蝕刻比發(fā)絲細千倍的電路時，一粒微不足道的塵埃落于其上，便足以摧毀整片價值高昂的晶圓，讓數(shù)周的精密努力化為泡影。因此，高標準芯片工廠（如制造3納米、5納米制程芯片）通常要求達到ISO 1級或2級的潔凈度一一這意味著一立方米空氣中大于0.1微米的粒子甚至不能超過十個。為實現(xiàn)此近乎苛刻的標準，車間采用造價高昂的垂直單向?qū)恿飨到y(tǒng)，空氣如瀑布般均勻穩(wěn)定地從天花板高效過濾器（ULPA級別）傾瀉而下，再經(jīng)由高架地板被抽走，形成持續(xù)“沖洗”效應(yīng)。工程師們身著包裹全身、特殊材質(zhì)制成的“兔寶寶”服，經(jīng)過多重氣閘室嚴格除塵，方能在靜默的微光環(huán)境中，操縱價值數(shù)千萬美元的曝光機臺。在這里，空氣的純凈度直接關(guān)聯(lián)著芯片的良品率與性能極限，一絲塵埃即可能導(dǎo)致價值數(shù)千萬美元的損失，無塵車間因此成為高標準芯片得以穩(wěn)定誕生的前提。醫(yī)藥行業(yè)無塵車間采用雙層氣密門，防止微生物污染注射劑生產(chǎn)。四川制藥B級無塵車間施工
離子注入無塵車間，金屬污染≤1×10^6atoms/cm，提升器件性能。中國香港十萬級無塵車間工程
千級無塵車間換氣次數(shù)有明確標準。GB 550072 - 2001規(guī)定是50 - 60次/s，ISO 14644 - 4規(guī)定的是25 - 56次/s。合理的換氣次數(shù)能夠保證車間內(nèi)空氣的新鮮度和潔凈度，及時排除污染物，為生產(chǎn)提供良好的空氣環(huán)境。千級無塵車間新風(fēng)量和送風(fēng)量標準根據(jù)車間內(nèi)人員數(shù)量確定。如果車間內(nèi)人員比較多就取最大值。非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10 - 30%；補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m/h。充足的新風(fēng)量和送風(fēng)量能夠維持車間內(nèi)空氣質(zhì)量，保障人員健康和生產(chǎn)安全。中國香港十萬級無塵車間工程
