ITO(氧化銦錫)靶材是濺射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一種,在顯示靶材中占比將近60%,山東鍍膜陶瓷靶材推薦廠家。ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(1600度,通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體。中低端ITO靶材有玻璃鍍膜靶材、發(fā)熱膜和熱反射膜靶材,包括汽車的顯示屏、一些儀器儀表的顯示。優(yōu)異的ITO靶材主要用于顯示器薄膜靶材、集成電路薄膜靶材以及磁記錄和光記錄膜靶材,尤其用于大面積,山東鍍膜陶瓷靶材推薦廠家、大規(guī)格的LED、OLED等領域,具備高密度、高純度,山東鍍膜陶瓷靶材推薦廠家、高均勻性等特點。
靶材是半導體、顯示面板、異質結光伏領域等的關鍵材料,存在工藝不可替代性。山東鍍膜陶瓷靶材推薦廠家
ITO靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(1600度,通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體。ito薄膜是利用ito材作為原材料,通過磁控濺射把ito氣化濺渡到玻璃基板或柔性有機薄膜上ito材主要是在平板顯示器中得到廣的運用,靶材主用是在半導體中運用廣?萍及l(fā)展的迅速,讓電子行業(yè)在市場中占據很大的份額,直接影響到了人們的工作和生活ITO濺射靶材是一種由氧化銦錫制成的陶瓷射材料。氧化銦錫(ITO)是氧化銦(In203)和氧化錫(SnO2)的固溶體,通常按重量計90%In203、10%SnO2。銦錫氧化物(ITO)因其導電性和光學透明性而成為應用廣的透明導電氧化物之一。銦錫氧化物薄膜常通過氣相沉積(PVD)沉積在表面上。貴州鍍膜陶瓷靶材市場價透明導電薄膜的種類很多,主要有ITO,TCO,AZO等,其中ITO的性能比較好,ITO具有高透光率,低電阻率。
靶材綁定背板流程:一、什么是綁定綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導電膠。靶材綁定常用釬焊,釬料常用In、Sn、In–Sn,一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/㎝2。二、為什么要綁定 1、防止靶材受熱不勻碎裂,例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結靶材;2、節(jié)省成本,防止變形,如靶材太貴,可將靶材做薄些,綁定背靶以防止變形。三、背靶的選擇 1、常用無氧銅,導電性好,無氧銅的導熱性比紫銅好;2、厚度適中,一般建議背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。四、綁定過程 1、綁定前將靶材和背靶表面預處理2、將靶材和背靶放置在釬焊臺上,升溫到綁定溫度3、將靶材和背靶金屬化4、粘接靶材和背靶5、降溫和后處理五、綁定靶材使用的注意事項1、濺射溫度不宜太高2、電流要緩慢加大3、循環(huán)冷卻水應低于35攝氏度4、適宜的靶材致密度。
ITO靶材被廣泛應用于各大行業(yè)之中,其主要應用分為:平板顯示器(FPD)產業(yè),薄膜晶體管顯示器(TFT-LCD)、液晶顯示器(LCD)、電激發(fā)光顯示器(EL)、電致有機發(fā)光平面顯示器(OELD)、場*顯示器(FED)、等離子顯示器(PDP)等;光伏產業(yè),如薄膜太陽能電池;功能性玻璃,如紅外線反射玻璃、抗紫外線玻璃如幕墻玻璃、汽車、飛機上的防霧擋風玻璃、光罩和玻璃型磁盤等三大域。但主要應用于還是在平板顯示器中,它是濺射ITO導電薄膜的主要原料,沒有它的存在,諸多的材料將無法實現正常加工以及設計。ITO薄膜由于對可見光透明和導電性良好的性,還被廣泛應用于液晶顯示玻璃、幕墻玻璃和飛機、汽車上的防霧擋風玻璃等。
陶瓷靶材和金屬靶材各自優(yōu)缺點。
靶材預濺射建議采用純氬氣進行濺射,可以起到清潔靶材表面的作用。靶材進行預濺射時建議慢慢加大濺射功率,陶瓷類靶材的功率加大速率建議為1.5W小時/平方厘米。金屬類靶材的預濺射速度可以比陶瓷靶材快,一個合理的功率加大速率為1.5W小時/平方厘米。在進行預濺射的同時需要檢查靶材起弧狀況,預濺射時間一般為10分鐘左右。如沒有起弧現象,繼續(xù)提升濺射功率到設定功率。根據經驗,一般應確保冷卻水出水口的水溫應低于35攝氏度,但非常重要的是確保冷卻水的循環(huán)系統(tǒng)能有效工作,通過冷卻水的快速循環(huán)帶走熱量,是確保能以較高功率連續(xù)濺射的一項重要保障。薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)是當前的主流平面顯示技術。北京鍍膜陶瓷靶材廠家
ITO靶材是當前太陽能電池主要的濺射靶材。山東鍍膜陶瓷靶材推薦廠家
靶材相對密度對大面積鍍膜的影響靶材的相對密度是靶材的實際密度與理論密度之比。單組分靶的理論密度為晶體密度。合金或混合物靶材的理論密度由各組分的理論密度及其在合金或混合物中的比例計算得出。熱噴涂的靶材結構疏松多孔,含氧量高(即使在真空噴涂中,也很難避免合金靶材中氧化物和氮化物的產生)。表面呈灰色,缺乏金屬光澤。吸附的雜質和水分是主要污染源,阻礙了高真空的快速獲得,在濺射過程中迅速導致放電,甚至燒毀靶材。同時,靶材濺射表面的高溫會迅速導致松散顆粒落下,污染玻璃表面,影響鍍膜質量。相對密度越高,成膜速度越快,濺射工藝越穩(wěn)定。根據靶材制備工藝的不同,鑄造靶材的相對密度應在98%以上,粉末冶金靶材應在97%以上才能滿足生產使用。因此,應嚴格控制目標密度,以減少落渣的發(fā)生。噴涂靶材的密度低,并且制備成本也低。當相對密度能保證90%以上時,一般不影響使用。山東鍍膜陶瓷靶材推薦廠家
江蘇迪納科精細材料股份有限公司擁有2011年成立,一直專注于PVD磁控濺射靶材的研發(fā)、生產、銷售、應用推廣以及靶材回收再利用。產品涵蓋陶瓷靶材、高純金屬靶材、合金靶材、貴金屬靶材、等離子噴涂靶材、蒸發(fā)鍍顆粒及高純陶瓷粉末。20年專注專業(yè),1站式靶材供應。等多項業(yè)務,主營業(yè)務涵蓋濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材。公司目前擁有較多的高技術人才,以不斷增強企業(yè)重點競爭力,加快企業(yè)技術創(chuàng)新,實現穩(wěn)健生產經營。誠實、守信是對企業(yè)的經營要求,也是我們做人的基本準則。公司致力于打造高品質的濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材。公司憑著雄厚的技術力量、飽滿的工作態(tài)度、扎實的工作作風、良好的職業(yè)道德,樹立了良好的濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材形象,贏得了社會各界的信任和認可。